판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SEi #293817034
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ID: 293817034
FTP-SiN furnace
N2 Load Lock
Maintenance fixture
Temperature Profile Jig
Inner Tube Installation Jig
Fork Pitch Gauge
HCT Heater Installation Jig
CKD Comb-Valve Maintenance Jig
Tube Cart
Single T/C and extension cable
Auto profile T/C
IGS Maintenance Jig
Safety Guard Fixture for back door
Backdoor Remover
Base Unit for FTP-SiN Process Cabinets/Units/Controllers
Furnace Cabinet(I-Type Deep Bay), Built in SMIF I/O
Power Supply Unit, Control Unit:3-ph 480VAC, 1-ph 120VAC.
Main Controller (WAVES)
Temperature Controller (Model 560)
Heater Type VOS-40-017 500-1000C (FTP Heater)
Rapid Cooling Unit
Cassette and Wafer Handling Automation
Auto Tube Shutter
Boat Elevator with Rotation Function
Boat Elevator CAP for Q'z process tube
Wafer Load Automation
(25) Wafers/6" Conversion Cassette
(21) Cassette Loading Automation
Cassette model: Entegris KXTC150-0 200-97C02
SMIF POD Model: Entegris M200-5114
6" Si/Glass Wafer Handling Capability
SiN Process:
Integrated Gas System for F-Poly Process
(2) NH3 Gas Line (with N2 purge line)
(1) DCS Gas Line (with N2 purge line)
(3) N2 Gas Line
(2) Pure N2 Gas Line
(1) N2 line for boat rotation.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SEi는 고성능 반도체 제조 공정을 위해 특별히 설계된 최첨단 확산 로입니다. 첨단 장비는 최첨단 기술 (최첨단 기술) 을 통합하여 반도체 업계의 도핑 (doping) 및 어닐링 (annealing) 애플리케이션을 위한 정확하고 안정적인 결과를 제공합니다. TEL 알파 8SEi (TEL Alpha 8SEi) 는 TEL의 유명한 일련의 확산 로의 일부이며, 반도체 프로세싱에서 탁월한 성능과 신뢰성으로 유명합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8SEi 시스템의 핵심은 강력하고 혁신적인 설계로, 현대 반도체 제조의 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 용광로 챔버 (furnace chamber) 는 우수한 열 안정성과 공정 청결성을 보장하기 위해 고순도 재료로 제작되었습니다. 이 최적화된 설계를 통해 챔버 내에서 온도 분배 및 제어 가스 흐름 (control gas flow) 이 통일되어 웨이퍼 표면에 걸쳐 정밀한 프로세스 제어 및 일관된 도핑 프로파일이 가능합니다. 알파 8SEi (Alpha 8SEi) 는 공정 주기 전반에 걸쳐 빠른 열 램프 및 정확한 온도 제어를 허용하는 고급 난방 및 냉각 메커니즘을 특징으로합니다. 이 기능은 반도체 장치의 정확한 도펀트 활성화 및 어닐링 프로파일을 달성하는 데 필수적입니다. 이 장치에는 여러 가열 영역 (heating zone) 과 가스 인젝터 (gas injector) 가 장착되어 있어 특정 프로세스 요구 사항에 대한 열 조건을 조정하여 광범위한 애플리케이션의 성능 및 유연성을 최적화합니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SEi 퍼니스는 우수한 열 성능 외에도 다양한 고급 기능을 통합하여 프로세스 효율성과 안정성을 향상시킵니다. 이 기계는 정밀한 가스 흐름 제어 시스템 (gas flow control system) 과 자동화된 레시피 관리 (recipe management) 기능을 갖추고 있어 제조 작업 흐름과 원활하게 통합하고 운영자의 개입을 최소화합니다. 이 용광로에는 광범위한 안전 장치 (Safety Mechanism) 와 장비 모니터링 시스템 (Monitoring System) 이 포함되어 있어 운영 안정성과 인력 안전을 항상 보장합니다. TEL Alpha 8SEi 도구의 주요 특징 중 하나는 탁월한 프로세스 재현성 및 최적화 기능입니다. 이 자산은 웨이퍼 투 웨이퍼 (wafer-to-wafer) 변형 및 프로세스 편차를 최소화하여 일관된 장치 성능과 높은 제조 수율을 보장하도록 설계되었습니다. Furnace 소프트웨어는 고급 프로세스 모델링 (process modeling) 및 최적화 (optimization) 툴을 사용하여 프로세스 매개변수를 세밀하게 조정하고 특정 디바이스 요구 사항에 맞게 최적의 성능을 구현합니다. TOKYO ELECTRON Alpha 8SEi 모델은 확장성과 다재다능성을 염두에 두고 설계되었으며, 기존 반도체 제조 설비와 프로세스 흐름에 원활하게 통합할 수 있습니다. 이 장비는 발전하는 프로세스 요구 사항과 기술 노드 (node) 를 수용하도록 손쉽게 맞춤/업그레이드할 수 있으며, 반도체 제조업체에 대한 장기적인 성능 및 투자 보호를 보장합니다. 전반적으로, Alpha 8SEi 확산 로는 반도체 제조에서 정확한 도핑 및 어닐링 프로세스를위한 최첨단 솔루션입니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SEi는 첨단 기술, 뛰어난 성능, 안정적인 운영 능력을 갖춘 반도체 제조업체를 통해, 빠르게 발전하는 업계 환경에서 높은 장치 성능, 항복 최적화, 프로세스 효율성을 달성하는 경쟁력을 제공합니다.
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