판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9410307

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE는 고급 반도체 제조에 사용되는 최첨단 확산 로입니다. 이 확산은 고성능 웨이퍼 처리를 위해 특별히 설계되었습니다. 낮은 사이클링 시간, 빠른 응답 시간 및 고온 균일성이 특징입니다. TEL ALPHA-8SE는 ± 0.5 ° C의 온도 정확도와 ± 0.2 ° C의 공정 반복 성을 갖추고 있습니다. 8SE는 관련 시스템 및 장치와 원활하게 통합 할 수있는 인시투 (In-Situ) 공정 챔버로 제작되었습니다. 챔버 (chamber) 는 프로세스 매개변수의 정확하고 정확한 제어를 가능하게 하는 독특한 내부 프로세스 컨트롤러 (in-situ process controller) 에 의해 작동합니다. 또한 8SE는 웨이퍼 로딩 및 언로드를위한 디스펜스/수집 장비로 완전히 자동화되었습니다. 이 시스템을 사용하면 빠르고 효율적인 배치 작업을 수행할 수 있습니다. 확산 퍼니스는 또한 고급 IC (advanced IC) 를 생산할 수있는 임베디드 집적 회로 처리 기술을 갖추고 있습니다. 기체 흐름 (gas flow), 압력 (pressure), 속도 (velocity) 등의 매개변수를 관리하는 고급 장치 제어 서브시스템이 장착되어 있습니다. 고급 프로세스 컨트롤러 (Advanced Process Controller) 는 프로세스 변경에 신속하게 적응할 수 있으며 다중 변종 제어가 가능합니다. 또한 8 SE 는 데이터 수집 및 저장 설비 (storage facility) 를 내장하고 시각적 검사 및 진단 시스템을 갖추고 있습니다. 따라서 운영자는 언제든지 확산 프로세스를 모니터링하고 문제를 해결할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE에는 웨이퍼의 적재 및 하역을 단순화하기 위해 고급 로봇 암이 있습니다. 로봇 암은 Windows 기반 소프트웨어 인터페이스를 사용하여 프로그래밍 및 작동합니다. 전반적으로 ALPHA 8S-E는 매우 안정적이고 가능한 확산 로입니다. 거의 완벽한 온도 정확성과 반복성을 자랑하며, 다양한 프로세스 요구 사항에 맞게 조정이 가능합니다. 내장 데이터 획득, 저장 및 로봇 시설을 갖춘 TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-E는 고급 반도체 어셈블리에 이상적인 선택입니다.