판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #93405
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판매
ID: 93405
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2002
APCVD furnace, 8"
Heater Model/Part No: VOS-40-017
Process: PIX Cure
Software Version: WAVE Controller
System Power Rating: 110AC One Phase / 208 AC
Loading Configuration 4 Loader
N2 LL
150 Wafer Load
Main System:
WAVES Controller
Photohelic Gauge
Boat Elevator
Wafer Load Automation
21 Cassette Stocker
Temperature Controller (M560)
Furnace Monitor, Power Control Unit
Remote Utility&Gas Cabinet
Inner T/C for Ration Mix
O2 Detector
Auto Shutter
Gas System (SiH4,CLF3,5%PH3,O2,N2,)
Options:
Signal Tower
Pitch Change Mechanism
UPS
GEM Communication
N2 Load Lock Ambient Control:
Quartz ware
Load lock purge system
Process gas O2,N2,
Gas Type - Convention Gas System
Tubing material - Stainless steel
Tubing Finish - Electro-polish
Manual valve - Fujikin
Fitting Type - VCR/UJR
Air-Operated valve - Fujikin
Filter - Millipore
Regulator - Veriflo
MFC - Aera
Pressure transducer - Millipore or NAGANO
Remote Components:
UTILITY BOX x1. Power Rating: 110/208AC
RCU cabinet x1 Power Rating: 110/208V
UPS x1. Power Rating: 110AC-1
Crated in a warehouse
2002 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE는 고효율, 저비용 전자 부품 생산을 제공하는 확산 로와 액세서리입니다. 이 제품은 기존 운영 라인에 통합될 수 있으며 자동화된 로드 (loading), 온도 조절 (temper control) 및 폐쇄 장비 기술로 사용이 간편합니다. 이 용광로는 폐쇄 된 가스 전달 시스템 (closed-ended gas delivery system) 을 사용하며 강력한 수직 및 수평 가스 전달 장치를 사용하여 최대 1600 ° C의 온도를 제공합니다. TEL 알파 -8SE (TEL ALPHA-8SE) 의 강력한 구성으로 인해 수명 주기가 매우 길며 고온이 필요한 긴 작업을 수행하는 데 적합합니다. "퍼니스 '는 또한 최대 10 개 의" 가스' 원 을 동시 에 보유 할 수 있으므로 대용량 환경 에서도 작동 할 수 있다. 도쿄 전자 알파 -8 SE (TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE) 에는 습하거나 젖은 환경에서 안전하게 사용할 수있는 수냉식 기계도 포함되어 있습니다. 또한, 이 도구는 냉각 및 열 분배가 빨라질 수 있도록 안정적인 온도를 보장합니다. 게다가, 순수한 질소로 최대 누출 수준 0.5% 에 도달하여, 최종 생성물에서 산화를 막을 수 있습니다. 또한, TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S E에는 고유 한 가변 컨트롤 세트가 장착되어 있으며, 이는 하나의 터치로 쉽게 조정되며, 운영자는 다른 생산 요구에 따라 설정을 조정 할 수 있습니다. 퍼니스에는 다중 영역 온도 제어 (multi-zone temperature control), 가변 가스 흐름 (variable gas flow) 및 체계적인 생산을 지원하는 유료 검사 기능과 같은 다른 옵션도 있습니다. TEL Alpha 8SE (TEL Alpha 8SE) 는 대용량 생산에 적합한 효율적이고 안정적인 확산로 자산입니다. 자동화된 로딩, 온도 조절, 폐쇄 모델 기술로 알파-8SE (ALPHA-8SE) 는 차세대 생산 라인에 대한 완벽한 확산 로나 액세서리 (accessory) 솔루션을 원하는 모든 사람에게 적합한 솔루션입니다.
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