판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9282682

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE는 반도체 장치 제조를 위해 설계된 다기능 확산 광로 장비입니다. TEL ALPHA-8SE는 1000 ° C ~ 2200 ° C의 저온 및 고온 프로세스를 모두 수행 할 수 있습니다. 이 제품은 전환기 유형 모니터, 근접 센서, 자동 원격 스위칭 기능 등 최첨단 기술을 갖추고 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE에는 최대 공정 균일성 및 온도 균질성을 위해 석영 및 세라믹 반응 튜브 (ceramic reaction tube) 가 포함되어 있어 공정 전체에서 더 나은 웨이퍼 균일성 및 향상된 수율을 제공합니다. 저온과 고온의 공정 (process) 기능은 고유한 고온 갈륨 비소 (gallium arsenide) 공정 기능과 함께, 장치 제조업체가 다양한 반도체 공정으로 최적의 결과를 얻을 수 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S E는 또한 다중 단계 프로세스 동안 최적의 프로세스 균일성과 온도 균질성을 위해 최대 3 개의 롤러에 대해 구성 될 수있는 고급 배기 시스템을 갖추고 있습니다. 고급 실시간 진단 모니터링 (real-time diagnostic monitoring) 기능을 통해 언제든지 장치 매개변수를 정확하게 제어할 수 있으므로 웨이퍼 균일성이 향상되고 수율이 향상됩니다. TEL ALPHA 8 S E 의 빠른 시작 (quick-start) 기능은 강력한 프로세스 모니터링과 높은 처리량을 보장하므로 설정 및 프로세스 시간이 단축됩니다. 또한 이중 튜브 머신 구성 외에도 자동 가스 라인 입력 (gas line input) 이 장착되어 다중 단계 프로세스에 이상적입니다. 자동 온도 조절 컵 (automated temperature-control cup) 으로 설계되어 챔버 내에서 정확한 온도를 보장하며 웨이퍼 홀더의 수온을 정확하게 조절합니다. 또한 TEL ALPHA-8 SE 는 프로세스 시각화 (Operation-Monitoring Tool), 실시간 수정 기능 등 다양한 애플리케이션에 손쉽게 사용할 수 있는 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 자동 (automatic) 원격 스위칭 기능을 통해 여러 확산 도구를 동시에 연결할 수 있으며, 여러 도구를 쉽게 전환할 수 있습니다. 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 가 포함되어 있어 자산을 간편하게 운영할 수 있습니다. 또한, 알파 8SE (Alpha 8SE) 는 과전류 보호기, 비상 정지 버튼, 수압 파열 탐지기 및 고온 냉각수 모델과 같은 적절한 작동을 보장하기 위해 여러 가지 안전 기능으로 설계되었습니다. 또한 개별 라인의 격리를위한 원격 인터 록 (remote interlock) 이 장착되어 우발적 교차 오염의 위험없이 여러 프로세서를 가동할 수 있습니다. 알파 8S-E (ALPHA 8S-E) 는 견고하고 다양한 확산 용광로 장비로, 다양한 반도체 소자 제조 응용 분야에 적합합니다. 첨단 기능으로 연구개발 (R&D) 과 대량 생산 목적에 적합하다.