판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9253985
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판매
ID: 9253985
웨이퍼 크기: 8"
Vertical furnace, 8"
Process: Nitride
WAVES Display for PDU unit
Furnace:
WAVES 3.11 Controller
CKD Pressure controller
M560 Temp controller
VMM-40-101 Heater
(5) Control zones
IGS Gas pattern panel
PDU Unit
R-Axis
NOMARL ETC
AERA MFC
MKS Baratron Pressure controller:
MKS Baratron Sensor BS1
MKS Baratron Sensor BS2
N.C Pressure gauge
N.C Pressure gauge controller
CKD Pressure control
N.C Main valve
Loading system:
Transfer fork: 4+1
(21) Upper stages
(2) Transfer stages
Flat zone aligner
Wafer counter sensor
Power supply:
Heater power: 440 V
Control power: 208 V.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE는 반도체 장치 확산 로이자 연결된 장치에 생산 솔루션을 제공하기 위해 설계된 액세서리입니다. TEL ALPHA-8SE (TEL ALPHA-8SE) 는 매우 내구성이 뛰어나고 다양한 용광로로 다양한 복잡한 제작 및 조립 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 따라서, 그것은 다양한 산업 응용 프로그램, 반도체 부품 및 장치 조립 산업에서 가장 두드러지게 사용될 수 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE는 세라믹 라이너가있는 스테인리스 스틸 챔버 (Stainless Steel Chamber) 를 갖추고 있으며, 균일성과 반복성으로 정밀한 온도 조절이 가능합니다. 이를 통해 온도 민감성 부품의 정확한 제조 및 제작에 대한 온도 변화를 제거 할 수 있습니다. ALPHA-8 SE의 온도 범위는 200 ° C ~ 1,000 ° C이며 정확한 온도 조절 및 정확한 산화 제어를 위해 설계되었습니다. 용광로는 또한 뛰어난 내부 균일성을 제공하여 챔버 전체에 일관된 온도를 제공합니다. 이것은 원형 샤워 헤드 디자인과 정확한 가스 플럭스 양으로 달성됩니다. 알파 -8SE (ALPHA-8SE) 내부에서, 정확한 12 구역 가스 시스템은 가스의 적절한 혼합을 통해 모든 공정에서 균일성과 반복성을 보장한다. 이 용광로는 반도체 컴포넌트 어셈블리와 관련된 많은 프로세스가 가능합니다. 알파 8 S E (ALPHA 8 S E) 는 산화 및 환원, 에칭 및 도펀트 확산 공정에 사용될 수있다. 또한 저압 화학 증기 증착 (CVD), 산소 확산, 황산 및 질소 산화물 확산, 습식 에치, 열 산화 및 질소와 같은 프로세스를 지원합니다. TEL ALPHA 8S-E 는 독점 프로세스 제어 소프트웨어를 사용하여 작동하므로 다양한 매개변수를 정확하고 일관되게 제어할 수 있습니다. 이 프로그램은 모든 프로세스 매개변수를 손쉽게 설정하고 조정할 수 있도록 해 주며, 전문가 모드로 모든 프로세스 매개변수 (process parameter) 와 제어 값 (control value) 을 제어합니다. 안전성과 신뢰성에 가장 주의를 기울인 TEL ALPHA 8 SE (TEL ALPHA 8 SE) 는 반도체 부품의 제조 및 조립을 위한 직관적이고 효율적인 확산 로입니다. 이 용광로 는 정확 한 온도 의 균일성, 반복성, 그리고 다양 한 공정 기능 으로, 연결 장치 의 신속 하고 정확 한 생산 을 보장 하는 데 도움 이 될 수 있습니다.
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