판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9237580
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판매
ID: 9237580
웨이퍼 크기: 4"
빈티지: 1999
Vertical furnace, 4"
Process: CAP-SIN
Layout type: U/Box type
LL Hand
Heater type: VOS-40-017 FTP
Rapid cooling unit
TORAY LC-750 N2 Purge system
O2 Densimeter
Pressure control: CKD
SMIF Not installed (I/O Type)
Wafer transfer: 1+4 Pitch change
(21) Cassette stockers
(100) Process wafers
Power supply: 208VAC / 208VAC, 1-Ph / 3-Ph
1999 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE는 고급 반도체 장치 제작 공정을 위해 특별히 설계된 산업 확산 로입니다. 정밀 온도, 압력, 흐름 컨트롤러가 장착되어 있으며, 고속 및 높은 정확도를 제공합니다. 텔 알파-8SE (TEL ALPHA-8SE) 는 초저열 드리프트 (drift-low-thermal drift) 및 탁월한 보호 기능으로 설계되어 장치 제작 프로세스 중 안전성과 신뢰성을 보장합니다. 이 모델은 8- 존 (zone) 원통형 가열 트랙을 특징으로 광역 가열을 제공하여 전체 가열 영역에서 동일한 가열을 허용합니다. 또한, 조정 가능한 온도 프로파일 제어 (Adjustable Temple Profile Control) 를 통해 처리 중인 재료에 맞게 가열 프로파일을 정확하게 수정할 수 있습니다. 대형 액세스 도어 (Access Door), 최적화 된 통풍구 (Optimized Vent) 및 공기 흐름 설계도 확산 과정의 안전과 효율성을 보장합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE (TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE) 는 멀티 스텝 리모콘 기능을 제공하여 여러 지점에서 확산 프로세스를 맞춤형으로 제어할 수 있습니다. 또한 다양한 자동 재료 전송 시스템 (Automated Material Transfer System) 이 포함되어 있어 재료를 부드럽고 효율적으로 적재 및 언로드할 수 있습니다. 저진동 기능은 동적 공기 베어링, 마이크로 진동 센서 및 활성 진동 제어를 제공하여 프로세스를 더욱 단순화합니다. 이것은 확산 과정에서 부품에 대한 스트레스를 줄이고 오염을 줄입니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SE는 다양한 액세서리 및 소모품과의 호환성을 위해 설계되었습니다. 여기에는 특수 샘플 홀더, 쿼츠 튜브 및 어댑터, 자동 충전 시스템, 가스 실린더 및 고순도 소모 액세서리가 포함됩니다. 이를 통해 사용자는 확산 프로세스를 조정하여 최적의 결과를 얻을 수 있습니다. 전반적으로 TOKYO ELECTRON ALPHA-8SE는 반도체 장치 제조에 적합한 고급 고성능 확산 로와 액세서리입니다. 고급 온도, 압력, 흐름 컨트롤러, 저진동 기능, 그리고 다양한 자동 자재 전송 시스템 (Automated Material Transfer System) 은 장치 제작 프로세스의 안전, 신뢰성 및 정확성을 보장합니다.
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