판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9233746

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE는 고급 연구 및 개발을 위해 설계된 고급 확산 로와 액세서리입니다. 독립된 난방 및 냉각 구역이있는 8 개의 별도, 자율 채널 (autonomous channel) 이 장착되어 대규모 연구 개발 실험실의 배치 프로세스에 적합합니다. TEL ALPHA-8SE 는 고급 컨트롤러로, 각 zone 을 정확하게 제어하고 설정/반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE의 메인 챔버는 스테인리스 스틸로 만들어졌으며 최대 8 인치 8 인치 웨이퍼를 적재 및 언로드할 수 있습니다. 약실은 단열재를 통합하여 기판의 균일 한 난방 및 냉각을 보장합니다. 웨이퍼 로더 (wafer loader) 와 언로더 (unloader) 는 쉽게 조작할 수 있도록 진공 클램핑을 갖추고 있으며 추가 수준의 안전을 제공합니다. 알파 8SE (Alpha 8SE) 는 최대 2 시간 동안 최대 1200 ° C의 온도를 유지할 수 있으며 고온 처리를 위해 지정됩니다. 이 고온 기능은 효율적이고 매우 빠른 가열과 냉각이 가능한 고급 유동화 (fluidized) 베드 소스에 의해 구동됩니다. 열원은 또한 흑연 라이너 (graphite liner) 를 사용하여 처리 중에 주입 할 수있는 부식 가스에 강합니다. 알파 8 S E (ALPHA 8 S E) 는 챔버 전체의 실시간 온도 및 압력 센서를 활용하고 예측 알고리즘을 사용하여 가장 높은 프로세스 정확도를 보장하는 고급 프로세스 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 운영자가 전체 프로세스를 제어 할 수있는 7 인치 터치 스크린 사용자 인터페이스 (7 인치) 가 장착되어 있습니다. 또한 TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SE는 다양한 타사 응용 프로그램과 호환되며 프로세스 제어 시스템과 통합 될 수 있습니다. 도쿄 전자 알파 -8SE (TOKYO ELECTRON ALPHA-8SE) 에는 가스 패널과 대피 패널을 포함한 다양한 액세서리가 함께 제공되며, 이는 완벽하고 안정적인 확산 용광로 시스템을 제공하도록 설계되었습니다. 또한 다양한 프로세스 선박 (process vessel) 과 호환되므로 빠른 램프 속도와 프로세스의 유연성을 제공합니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8SE (TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8SE) 는 완전 자동화된 시스템으로, 안전 센서와 프로토콜을 내장하여 작동 중 사용자의 안전을 보장합니다. TEL ALPHA 8S-E는 대규모 연구 개발 실험실을위한 뛰어난 확산 로입니다. 견고하고 안정적인 디자인, 고급 컨트롤러 (Advanced Controller), 액세서리 (Accessory) 를 통해 배치 프로세스와 고급 연구/개발을 완벽하게 선택할 수 있습니다.