판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9223519
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판매
ID: 9223519
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2008
Vertical LPCVD furnace, 8"
High temperature oxidation
ASYST Indexer in built
Handler system: TEL Robot
Utility box
Transformer
UPS
CIM Linked
2008 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE는 반도체 장치 제조를 위해 특별히 설계된 확산 로와 액세서리입니다. 이 장비 는 고급 "테크놀로지 '를 이용 하여 매우 효율적 이고 정확 한 방법 으로" 도판트' 종 을 기판 으로 난방 하고 균등 하게 확산 시킨다. TEL ALPHA-8SE (TEL ALPHA-8SE) 는 제작되는 반도체 장치의 종류에 따라 다양한 요구에 적응할 수 있는 PC 제어 시스템입니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE (TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE) 는 최대 4 킬로그램의 부하 용량을 가진 고효율 챔버를 특징으로하여 더 큰 웨이퍼 배치를 한 번에 처리 할 수 있습니다. 이 장치는 TEL 전용 Tornado ™ - Auto Set 온도 조절 머신 (Auto Set temperature control machine) 을 사용하여 공통 레시피와 주기 시간을 절약하여 프로세스 효율성과 정확도를 크게 높입니다. 토네이도 (Tornado) ™ - 자동 설정 (Auto Set) 온도 제어 도구를 사용하면 정확한 온도 프로파일과 안정적인 장치 제조에 필요한 빠른 열 사이클링을 쉽게 얻을 수 있습니다. ALPHA 8 S E에는 외부 크리스탈 오븐으로 연결된 수정 오븐과 같은 고급 기능과 TOKYO ELECTRON 전용 MGIS (Multi-Gas Injection Asset) 도 포함됩니다. MGIS는 개선 된 도핑 정밀도를 위해 여러 활성 가스를 챔버에 정확하게 주입 할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S E는 실온에서 섭씨 1000도까지의 다양한 온도 범위를 특징으로합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S E (TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S E) 는 안전성을 염두에 두고 설계되었으며, 경보 및 인터 록을 통해 장애 발생 시 전원 공급 장치 및 가스 공급 밸브를 즉시 차단합니다. 이 기능은 운영자와 장비의 안전성을 보장하며, 장치를 잘못 처리하거나 잘못 사용할 수 없도록 보호합니다. ALPHA-8SE 는 모듈식 설계로 제공되며 설치 및 유지 보수가 용이합니다. 또한 사용자 친화적 인 UI가 있으며 매우 다양합니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-E에서 제공되는 고급 기술로, 다양한 반도체 장치를 제작하기위한 완벽한 모델입니다.
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