판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9216087
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판매
ID: 9216087
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1997
PIQ System, 8"
General:
Heater type: VMM-40-101
SMIF / IO: Open cassette type
Process gasses:
Gas 1: MFC1 - N2 (20SLM)
Gas 2: MFC2 - N2 (30SLM)
Gas 3: MFC3 - N2 (3SLM)
Gas 4: MFC4 - O2 (10SLM)
Gas 5: MFC5 - SiH4 (200SCCM)
Gas 6: MFC6 - SiH4 (200SCCM)
Gas distribution system:
Basic style: Conventional gas system
Tubing material: Stainless steel
Tubing finish: Elctro-polished
Manual valve: FUJIKIN
Air operated valve: FUJIKIN
MFC: AERA
Wafer / Cassette handling
Wafer type: 200mm SEMI STD-Notch
(5) Fork types / Materials
Fork variable pitch
Cassette:
Type: Entergris / XT200-01E
(25) Wafers
(21) Storage cassettes
Boat / Pedestal:
(150) Production wafers
Boat rotation
System controls:
TS-4000Z
Signal tower colors: G/R/A
General pressure display: Mpa
Cabinet exhaust display: Kpa
Furnace temperature controller: M121
Host communications:
Host computer
Host computer I/F: SECS I/II (RS232)
Information transfer protocol: GEM
Equipment host I/F connection: U / Box top
Group controller: JGA
Power:
Heater: 208 V, 3 Phase, 31.6 KVA
Voltage: 208 V, 1 Phase: 2.3 KVA
Pump: 208 V, 3 phase: 12.4 KVA
1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE는 단일 웨이퍼, 고온 확산로 및 반도체 제조 공정을 위해 특별히 설계된 액세서리입니다. TEL ALPHA-8SE (TEL ALPHA-8SE) 는 현대 반도체 제조업체의 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계된 완전 자동화 생산로입니다. 각 구역에서 정확한 온도 및 대기 제어를 가능하게하고 프로세스 전반에 걸쳐 균일 한 온도를 보장하는 8 구역 (8-zone) 컨트롤이 특징입니다. 8 개 구역 각각에는 개별적으로 조절 가능한 히터 파워가 장착되어 다양한 크기의 가공소재를 수용합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE 의 핫 존 온도는 최대 1250 ° C까지 상승하여 고온 확산 프로세스를 수용 할 수 있습니다. 알파 8 SE (ALPHA 8 SE) 에는 열전대 위치 센서 기술도 탑재되어 있어 정밀한 온도 조절이 가능합니다. 센서는 균일 한 온도 분포를 위해 각 가공소재의 온도를 모니터링합니다. 이 최첨단 기술은 확산 과정에서 탁월한 성능과 신뢰성을 제공합니다. 최대한의 안전성과 편의를 위해, 알파 8 S E (ALPHA 8 S E) 는 내부 압력 모니터를 특징으로하며, 이를 통해 프로세스 대기 압력을 지속적으로 모니터링할 수 있습니다. TEL ALPHA 8 S E는 또한 자동 가스 흐름 제어를 통해 조정 가능한 공정 대기 흐름 속도를 통해 균일 한 온도 분포를 보장합니다. 또한 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S E는 원격 프로세스 모니터링, 정교한 연동 시스템, 과열 보호 및 사용자에게 친숙한 프로세스 프로그램 데이터 입력을 제공합니다. 알파 8S-E (ALPHA 8S-E) 는 다양한 반도체 등급 특수 가스와 호환되며, 자동 가스 라인 제거 및 플러싱 기능을 갖추고 있습니다. 또한 밀봉 된 인클로저, 개선 된 가스 흐름 시스템, 자동 응축 제거 (condensate removal) 로 인해 유지 관리가 쉽습니다. 알파 8SE (Alpha 8SE) 를 활용하여 반도체 제조업체는 매우 정확하고 신뢰할 수있는 웨이퍼를 생산할 수 있습니다. 정밀한 온도 및 대기 제어가 필요한 반도체 공정을 위한 내구성, 신뢰성, 효율성, 선택입니다.
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