판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9192195

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE는 금속 및 기타 화합물을 반도체에 증착시키는 데 사용되는 확산 로와 액세서리입니다. 이 확산 용광로 (diffusion furnace) 는 수직로 (vertical reactor tube) 설계를 기반으로하며, 입구 (inlet) 와 2 개의 콘센트 포트 (outlet port) 로 구성되어 있으며, 이 포트는 반응실을 출입할 수 있습니다. TEL ALPHA-8SE (TEL ALPHA-8SE) 는 고온 및 초순수 증착 환경을 제공하며 동종 또는 비 동종 필름을 증착하는 유연성을 제공합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE는 300 ° C 및 최대 1,000 ° C의 온도에 도달 할 수있는 고급 난방 장비를 갖추고 있습니다. 퍼니스는 2 개의 미세하게 튜닝 된 흑연 라인 난방으로 구성되며, 각각 독립적 인 PID (PID) 에 의해 정밀 온도 관리를 위해 제어됩니다. 두 개의 난방 챔버가 동시에 작동하여 증착 과정에서 뛰어난 균질성을 가능하게합니다. 또한 ALPHA 8S-E에는 온도 램프를위한 추가 4 방향 격리 밸브를 장착 할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE 퍼니스는 증착 물질의 무결성과 균일성을 보장하는 다양한 고급 기술을 제공합니다. 확산 챔버는 독립적 인 압력 제어 시스템, 모듈 식 설계 및 비활성 가스 주입 장치 (inert gas-infusion unit) 를 사용하여 기질의 제로 접촉 오염을 보장합니다. 또한, 용광로는 고급 센서와 E-Beam 검출기를 사용하여 지속적으로 정확한 데이터 판독을 보장합니다. TEL Alpha 8SE 에는 다양한 애플리케이션에 최적화된 다양한 액세서리와 모듈이 포함되어 있습니다. 예 를 들어, 용광로 는 조종 된 선형 방식 으로 "실버 '를 통하여 기판 을 작동 시키는" 컨베이어' 를 입힐 수 있다. 이 용광로는 또한 비상 사태를 방지하기 위해 화재 방지 기계, ESD 보호, UV 보호 등 다양한 안전 기능을 제공합니다. 텔 알파 -8 SE (TEL ALPHA-8 SE) 는 정확한 증착 결과를 얻을 수있는 고급 대규모 열 증착 도구를 찾는 사람들에게 이상적인 확산 로입니다. 고도로 정확한 온도 관리, 다양한 안전 기능 및 오염을 방지하기 위해 설계된 기타 기능과 결합하여 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-E (TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-E) 는 업계에서 신뢰할 수 있는 장기 성능을 필요로 하는 고객에게 적합한 제품입니다.