판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9079967

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE는 반도체 장치 제조 공정에 사용되는 확산 로와 액세서리입니다. 신뢰할 수있는 제작과 신뢰할 수있는 성능으로 유명합니다. TEL ALPHA-8SE 퍼니스는 다양한 제조업체 요구 사항을 충족하는 다양한 기능과 옵션을 제공합니다. "TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE (도쿄 전자 알파 -8 SE) '는 소형 크기와 낮은 에너지 소비로 중소형 생산 시설에 이상적인 선택입니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-E 확산 로에는 양극과 음극의 두 가지 공정 챔버가 제공됩니다. 두 방은 물 순환 장비에 의해 냉각되고 절연 (insulated) 되어 챔버 내에서 최적의 온도 안정성과 균일성을 제공합니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-E의 온도 범위는 25-1150 ° C이며 제어 가능한 램프 속도는 최대 5 ° C/sec입니다. 온도 범위는 실리콘, 갈륨 비소, 게르마늄을 포함한 대부분의 입력 및 기질 재료에 적합합니다. ALPHA 8 S E 확산 용광로는 또한 용광로 챔버 내에서 온도 균일 성 변이를 조정하는 시스템 인 UCIII (Uniformity compensation III) 를 특징으로합니다. UCIII 는 증기 전달 장치 (vapor delivery unit) 와 함께 작동하여 챔버 전체에 걸쳐 일관된 증기 전달을 보장합니다. 이 기계는 또한 긴 기간 동안 기판 연소 기회를 최소화하는 데 도움이됩니다. TOKYO ELECTRON Alpha 8SE에는 또한 화학 증기 증착 (CVD) 액세서리가 장착되어 기판에서 원하는 재료의 얇은 필름을 증착 할 수 있습니다. 이 프로세스는 전기 접촉과 같은 부품을 만드는 데 사용됩니다. 그것 은 화학적 증기 를 "챔버 '에 도입 하여 작용 하는데, 그것 을 가열 하여 기판 표면 에 퇴적 층 을 형성 한다. 이 도구는 화학 증기 흐름 및 기판 온도를 제어하는 컴퓨터 제어 프로세스 컨트롤러 (computer-controlled process controller) 를 통해 제어됩니다. TEL ALPHA 8S-E 확산 로에는 고급 안전 구성 요소도 있습니다. 방압을 감시하는 압력 트랜스듀서 (pressure transducer) 와 가스 차단 밸브 (gas shut-off valve) 가 있으며, 응급 상황에서 원격으로 작동 할 수 있습니다. 퍼니스에는 비상 차단 스위치도 있으며, 수동으로 작동 할 수 있습니다. 또한 ALPHA 8S-E 는 용광로 성능을 모니터링하고 제어 장치 (Control Unit) 와 관련된 문제를 전달할 수 있는 에셋을 내장하고 있습니다. 전반적으로 TEL ALPHA 8 SE는 안정적이고 효율적인 확산 로와 액세서리입니다. 안전하고 안정적인 운영을 위한 고급 (Advanced) 기능과 구성 요소를 제공하며, 중소, 성장, 중견 기업을 위한 최적의 솔루션입니다.