판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9073199
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판매
ID: 9073199
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2002
Doped poly furnace, 8"
System Hand LL
Side Maintenance: No
System Paint Color: White
Furnace Front Surface Finish: Stainless Steel
Process Pressure: 500 mTorr
Process Temperature: 800ºC
FTP Heater: Installed
Rapid Cooling Unit: Installed
Heater Type: FTP VOS-40-017 (RT)-1000C
N2 Purge System: Installed
02 Densimeter Model: Toray LC750
SMIF: Not Installed
SMIF POD (maker/model): N/A
SMIF OEM Probe (maker/model): N/A
AGV Compatibility: Installed
Process Gases:
Process Gas 1 Pure N2
Process Gas 2 NH3
Process Gas 3 SiH2Cl2 (DCS)
Process Gas 4 N2O
Process Gas 5 SiH4
Process Gas 6 NH3
Process Gas 7 PH3 5%/He
Process Gas 8 SiCl4
Process Gas 9 H2
CE Marked
2002 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE는 고급 제품 및 재료 생산에 사용되는 확산 로와 액세서리입니다. 이 장비는 주로 실리콘 기반 반도체 장치 (예: 집적 회로, 트랜지스터 및 기타 최신 부품) 의 제작에 사용됩니다. TEL ALPHA-8SE 확산은 이러한 구성 요소의 복잡한 세부 사항 및 부산물을 형성하여 보다 효율적이고 비용 효율적인 생산에 도움을줍니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE Diffusion Furnace는 광범위한 기능을 갖춘 단일 웨이퍼 퍼로입니다. 여기에는 포함 된 웨이퍼 챔버 (wafer chamber) 내에서 온도를 감지하고 측정하는 피로미터 (pyrometer) 세트가 포함되어 있어 일관된 제품 품질을 보장하는 실시간 조정을 제공합니다. 이 시스템은 또한 최신 절연 단위와 고온 저항성을 가지고 있으며, 용광로가 최대 1400 ° 의 온도에 안전하게 도달 할 수 있습니다. 이 기능은 화학기반 냉각기 (cooling machine) 를 설치함으로써 더욱 향상되었으며, 이 기능을 통해 사용자가 장치를 제작하는 동안 더 많은 제어 및 정밀도를 확보할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-E에는 용광로 내의 웨이퍼 및 재료 난방 프로세스를 모니터링 할 수있는 통합 터치 스크린 인터페이스도 있습니다. 특정 환경에 맞게 프로그래밍할 수 있으며, 다른 시설 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다. 안전 측정의 일환으로, 공구에는 과도한 압력 구축을 방지하는 압력 밸브 (pressure valv) 가 있습니다. 또한, TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-E (Tokyo ELECTRON ALPHA 8S-E) 에는 용광로 회사의 제조 프로세스에 통합 될 수있는 방대한 액세서리 구성 요소가 포함되어 있어 장치가 수행 할 수있는 가능성을 확대합니다. TEL ALPHA 8S-E 확산 로는 최신 생산 표준을 충족하고 초과하는 안정적이고 효율적인 자산입니다. 고급 기능은 사용자에게 제품 제작에 필요한 정확성과 세부 사항 (detail) 을 제공합니다. 또한, 보다 비용 효율적이고 간편한 재료 생산에 유용합니다. 이러한 유연성과 다양성으로 인해 TOKYO ELECTRON Alpha 8SE는 많은 산업 시설에 이상적인 선택이되었습니다.
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