판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9065751
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판매
ID: 9065751
웨이퍼 크기: 8"
Doped poly furnace, 8"
System layout type
System hand LL
Side maintenance no
System paint color white
Furnace front surface finish SUS polished #600
Process pressure 500 mTorr
Process temperature 620C
Mid temp VMM-40-101, 5 zone
NGK SH-302
Non SMIF
Process gases
Process gas 1 Pure N2
Process gas 2 SiH4
Process gas 3 5% PH3/N2
Process gas 4 0.5% PH3/N2
(4) Heater chambers
CE Marked
2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE는 정확한 양의 실리콘 및 기타 반도체 재료를 생산하도록 특별히 설계된 확산 로입니다. 이 8- 챔버 퍼니스는 각 챔버에 독립적 인 온도 및 가스 제어 (gas control) 를 특징으로하여 가스 흐름을 정확하게 제어하고 고급 반도체 재료의 대량 생산을 허용합니다. 각 챔버의 정격 전력은 600W이며 최대 1150 ° C의 온도를 지원할 수 있습니다. TEL ALPHA-8SE (TEL ALPHA-8SE) 에는 여러 액세서리가 함께 제공되며, 이를 통해 사용자가 필요에 맞게 설정을 사용자 정의할 수 있습니다. 여기에는 다양한 웨이퍼 크기를 지원하는 석영 튜브, 격리 링 및 메쉬 컨베이어가 포함됩니다. 또한 TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE에는 PC 제어 PID 온도 및 가스 제어 장비가 있어 모니터링이 쉽고 정확한 온도 튜닝이 가능합니다. 다른 기능으로는 ± 1 ° C 이상의 온도 균일성 및 이더넷 프로토콜을 사용하는 주변 장치 통신 기능이 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S E에는 공정에 적합한 진공 수준을 보장하기 위해 자체 진공 펌프도 포함되어 있습니다. 이 진공 시스템은 1 단계 마이크로 분자 펌프, 진공 게이지 및 펌핑 전력 증가를위한 진공 부스터로 구성됩니다. 이 진공 "펌프 '는 100" 리터 '/분 의 "펌프' 속도 로 급속 히 대피 할 수 있다. 기본 기능 외에도 TOKYO ELECTRON Alpha 8SE (TOKYO ELECTRON Alpha 8SE) 는 사용자 경험을 개선하기 위해 다양한 특수 기능을 제공 할 수 있습니다. 예를 들어, 최대 20 개의 다른 레시피를 저장할 수 있는 고급 레시피 컨트롤러 (advanced recipe controller) 를 사용하여 클릭 한 번으로 불러올 수 있습니다. 또한 자동 청소 장치 (auto-cleaning machine) 를 사용하여 가동 중지 시간을 줄이고 에너지 모니터링 도구를 사용하여 에너지를 절약할 수 있습니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE는 반도체 재료에 대한 온도 및 가스 흐름에 대한 정확한 제어가 필요한 모든 사람에게 적합한 선택입니다. 이 확산 용광로 (Diffusion Furnace) 와 액세서리 (Accessory) 세트가 왜 그렇게 인기가 있는지는 놀라운 일이 아닙니다.
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