판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #168532
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판매
ID: 168532
LPCVD furnace, 8"
Wafer size: 8"
Flat / notch type: Flat
Signal tower: 3 color (RYG)
SMIF or I/O type: I/O type
AGV compatibility: Not use
Rapid cooling unit: Not use
Load lock system: Use
Production wafer quantity: 150
Controller and software:
HD version: V3.11
HDD capacity: Waves V3.11 R0000
TEB 408-11 HDMC
SVA 011
TEB 107 ECS5
M/C TEB 205
TEB 103 FPIF
Power: (phase, voltage, frequency)
Heater power: 3 phase, 208V, 35.6 Kva
Controller power: 1 phase, 208V, 5.5 Kva
MFC flow:
MFC1: AREA TC FC D986Y-BF, N2 20 SLM
MFC1: AREA TC FC D986Y-BF, N2 10 SLM
MFC1: AREA TC FC D986Y-BF, N2 10 SLM
MFC1: AREA TC FC D985Y-BF, SiH4 100 SCCM
MFC1: AREA TC FC D986Y-BF, N2O 5 SLM
MFM1: AREA TC FM 865Y, SiH4 100 SCCM
Heater model: VMM 40-101
Vacuum controls:
APC (CKD) control: VEC-S8-X0201
Controller specifications:
Main controller: WAVES
Temperature controller: Alpha 8SE-C
Pressure controller: None
Mecha controller: None
Burn controller: None
MFC controller: None.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE는 반도체 처리 및 기타 제조 기술에 사용되는 다목적 고주파 확산 로입니다. 내부 석영 튜브 (internal quartz tube) 가 특징이며, 정확한 온도 조절 및 균일 한 가열로 처리 매개변수를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 석영 튜브는 질소로 채워진 가스 방패로 둘러싸여 있으며, 비활성 대기와 우수한 열 절연 (thermal insulation) 을 제공합니다. 용광로에는 정확한 주파수 제어 장비가 장착되어 있으며, 특히 정밀한 온도 조절을 위해 설계되었습니다. 이 시스템은 수작업을 자주 조정하지 않아도 되며, 반복 가능한 난방 시간 (heating time) 과 정상 상태 (steady-state) 를 허용합니다. 이 장치에는 전력 비율 제어기 (Power Ratio Control Machine) 가 있으며, 균일 한 열 분배를 위해 고속 및 정확한 온도 제어를 제공합니다. TEL ALPHA-8SE에는 샘플 로드 툴과 통합 로드/언로드 스테이션이 장착되어 있습니다. 최대 8 개의 웨이퍼 또는 기판을 한 번에 근접 로드할 수 있습니다. 또한, 샘플 로드 에셋의 설계는 로드, 언로드 및 처리 중에 제조 옵토 메카니컬 정렬이 유지되도록 합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE는 또한 확산 주기에 대한 높은 수준의 제어를 제공합니다. 온도 경사, 시간 밀도 프로파일 및 주기 종점 탐지를 정확하게 제어할 수 있습니다. 하이로드 (high-load) 애플리케이션의 경우, 사이클 간 변형을 제한하기 위해 히터의 온/오프 변조를 제공하는 신속한 복구 모델이 장착되어 있습니다. ALPHA 8S-E 의 자동화 (automation) 기능은 프로세스 모니터링 툴과 함께 사용이 간편한 GUI 를 제공합니다. 이 장비는 또한 최대 1200 개의 프로세스 매개변수를 모니터링하여 고급 프로세스 제어 (process control) 및 제조 프로세스의 완벽한 추적 기능을 지원합니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SE는 또한 질소 제거를위한 전동 셔터 및 비활성 가스 스크러빙/분리를 위한 건조 가스 필터와 같은 여러 가지 고급 액세서리를 제공합니다. ALPHA 8 SE 확산 시스템은 또한 SEMI S8 및 ISO14644-1 표준을 준수하는 고급 폐수 감축 장치를 제공합니다. 이것은 방출 된 공기가 안전하고 환경 적으로 호환 된 수준으로 유지되도록 보장합니다. 또한 견고하고, 안정적이며, 효율적이며, 고객의 요구 사항을 충족할 수 있는 다양한 옵션이 제공됩니다.
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