판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #144248
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판매
ID: 144248
LPCVD LP-BSG TEOS furnace, 8"
Flat / notch type: Notch
Signal tower: 3 color (RYG)
SMIF or I/O type: I/O type
AGV compatibility: Not use
Rapid cooling unit: Not use
Load lock system: Not use
Production wafer quantity: 150
Controller and software:
HD version: WAVES V3.11 R0008
HDD capacity: 4.3 GB
TEB 408-11 HDMC
SVA 031
TEB 107 ECS5
M/C TEB 205
TEB 103 FPIF
Configuration: Alpha-8SE
Power: (phase, voltage, frequency)
Heater power: 3 phase, 50/60 Hz 440V
Controller power: 1 phase, 50/60 Hz 100V
Pump power: 3 phase, 50/60 Hz 440V
MFC flow:
MFC1: STEC N2, 20 SLM
MFC2: STEC N2, 200 SCCM
MFC3: STEC TEOS, 300 SCCM
MFC4: STEC N2, 5 SLM
MFC5: SAM CLF3, 5 SLM
MFC6: STEC TMB, 300 SCCM
Heater model: VMM 40-101
Vacuum control: EBARA 150x40UERP6M-D
Controller specifications:
Main controller: WAVES
Temperature controller: Model 560A
Pressure controller: PCU1000 (PCV control)
Mecha controller: T-Bawl
Burn controller: None
MFC controller: None
Powered off
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE는 반도체의 고품질 제작을 위해 설계된 고급 확산 로와 액세서리 장비입니다. 이 시스템은 쿼츠 챔버 (quartz chamber), 웨이퍼 보트 (wafer boat), 벨 항아리 (bell jar) 및 웨이퍼 보트를 챔버에 배치하는 내열 자동 리프트 어셈블리로 구성됩니다. 석영 챔버 (Quartz Chamber) 는 가까운 열 및 에너지 균일 성을 제공하도록 설계되었으며, 종 항아리는 매우 깨끗한 작업 조건을 허용합니다. 자동 리프트 (auto-lift) 어셈블리를 통해 쿼츠 챔버 내부의 웨이퍼 보트와 최소 스트레스로 정확한 위치를 쉽게 확인할 수 있습니다. TEL ALPHA-8SE 퍼니스는 또한 고급 고내구성, 두꺼운 필름 히터를 특징으로합니다. 이 히터는 최대 500 와트의 전력과 최대 150 와트/cm2의 어닐링 에너지를 제공 할 수 있습니다. 또한 25 ° C ~ 1200 ° C의 넓은 온도 범위를 제공합니다. 열의 정확한 제어는 내장 온도 제어 장치에 의해 가능하며, 흑연 서셉터 (Graphite susceptor) 는 정확한 균일성을 보장합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE는 탁월한 환경 제어 기능도 제공합니다. 다양한 주변 공기, 드라이 에어 (dry air) 및 기타 가스와 호환되며, 환경 요구 사항을 개선하기위한 필터리스 (filter-free) 디자인이 있습니다. 또한, 높은 순도 벽과 지붕, 저압 옵션, 기타 고급 BPSG 및 화학 증착 기능이 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SE에는 광범위한 작동 기능도 제공됩니다. 여기에는 직관적 인 조이스틱 제어, 온보드 마스터 프로그래머블 논리 제어, 터치 스크린 데이터 입력 도구 (Touchscreen Data Entry Tool) 가있는 통합 전기 드라이브 머신이 포함됩니다. 또한 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-E에는 고급 에너지 효율 자산, 독립 온도 램프 모델 및 향상된 레시피 라이브러리가 있습니다. 전체적으로, TOKYO ELECTRON ALPHA-8SE 확산 로와 액세서리 장비는 반도체 장치의 고품질 제작을 제공하며, 제조업체는 높은 에너지 효율과 환경 호환성을 유지할 수 있도록 설계되었습니다. 다양한 기능과 운영 기능을 통해 화학적 폐기물 (chemical waste) 과 운영 비용을 최소화하여 정확한 제어와 탁월한 성능을 보장합니다.
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