판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #122707

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE (TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE) 는 다양한 산업에서 다양한 물질에 사용되는 고급 열 및 화학 처리 장비입니다. 최고 수준의 정밀도, 정확도, 신뢰성을 자랑하는 박막 (Thin Film) 을 처리하기 위한 첨단 최첨단 시스템 중 하나입니다. TEL ALPHA-8SE (TEL ALPHA-8SE) 는 웨이퍼 레벨 배치 프로세스를 사용하여 여러 기판을 균일하게 처리하도록 설계된 확산 로입니다. 이 시스템은 또한 매우 유연하고 정확한 박막 증착 (Thin-film deposition) 및 플라즈마 에칭을위한 다양한 옵션을 제공하는 다른 여러 구성 요소로 구성되어 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE 확산 로에는 챔버의 온도 변화를 감지 할 수있는 IRS (Infra-Red Sensor) 가 장착 된 반도체 공정 챔버가 제공됩니다. 이것은 S-FOC 자동 필름 제거 장치 (S-FOC Automated Film Removal Unit), 고효율 입자 증착 기계 및 RF 플래튼과 같은 여러 다른 승무원 액세서리와 쌍을 이룹니다. 또한, 이 도구에는 더 쉬운 프로그래밍 및 반복 가능한 프로세스를 위해 저장할 수있는 추가 레시피가 있습니다. 고효율 저온 증착 자산을 사용하면 더 빠르고 균일 한 박막 증착이 가능합니다. RF 플래튼은 넓은 영역 기판을 부드럽고 균일 하게 처리 할 수 있습니다. TEL ALPHA 8 SE 확산 로는 동적 가스 입구 제어를 사용하여 챔버의 균일 성을 향상시키고 처리 시간을 줄입니다. 고급 제어 기술은 웨이퍼 유형 및 기판 크기에 관계없이 일관된 처리를 보장합니다. 또한 이 모델은 웨이퍼 레벨 배치 처리 (Wafer Level Batch Processing) 에 뛰어난 처리량을 제공하며 최대 8개의 웨이퍼를 지원하므로 업종에 적합합니다. 확산로 외에도, ALPHA 8 S E에는 2 개의 원격 팬 구동 받침대 로봇, 프로그래밍 가능한 쿼츠 튜브 증착 모듈, 플라즈마 에치 모듈, 기타 다양한 도구 및 장비. 2 개의 원격 팬 구동 페데스탈 (pedestal) 로봇은 웨이퍼 로딩을 촉진하고 탁월한 전송 안정성과 프로세스 반복성을 제공합니다. 프로그래밍 가능한 쿼츠 튜브 모듈은 복잡한 재료와 자유형 프로파일을 균일 하게 배치합니다. 마지막으로, 플라즈마 에치 모듈은 원치 않는 재료를 제거하고 프로세스 품질과 균일성을 향상시키는 데 도움이됩니다. TEL ALPHA-8 SE 확산 로와 함께 제공되는 액세서리는 매우 유연하고 정확한 박막 증착 및 플라즈마 에칭 장비를 제공하여 다양한 산업에서 더 효율적인 프로세스와 고품질 제품을 얻을 수 있습니다. 이 시스템은 매우 안정적이며, 최고 수준의 정확도를 갖춘 고정밀도 처리를 제공합니다. 도쿄 전자 알파 8 SE (TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SE) 가 제공하는 신뢰성, 유연성 및 정확성으로 인해 열 및 화학 처리에 가장 적합한 시스템 중 하나입니다.