판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #122706
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판매
ID: 122706
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2007
Thermal process furnace, 8"
Flat type wafer
Signal tower: (4) color
I/O type
Rapid cooling unit
Capacity: (125) wafers per batch
Controller
Waves V3.23 R001 (D01FFF-000F)
(2) HDD: 4.3 GB
TEB 407 HFE
TEB 408-11 HDMC Rev 2.0B
SVA 041
TEB 107 ECS 5
DVE P 750/51-TR
TEB 103 FPIF
Temperature controller: 560A
Pressure controller: CKD VEL-CP2
WVG controller: WVG-SC-010Y12B2B
Vacuum pump: Ebara A150W-T
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE는 최고 수준의 확산 로이며 고품질 고급 마이크로 전자 장치 생산을 위해 설계된 액세서리입니다. 최첨단 쿼츠 세라믹 (quartz-ceramic) 구조와 최신 전자 제품을 결합하여 신뢰할 수 있고 비용 효율적인 제조 프로세스를 제공합니다. TEL ALPHA-8SE 는 경제적이고 안정적인 방식으로, 생산성을 높이고 자원을 효율적으로 사용할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE의 뛰어난 재료, 건설 및 전자 장치는 확산 처리를 위해 안정적이고 적응 가능한 플랫폼을 제공합니다. 산소 제어, 석영-세라믹 챔버를 통합하여 열적 안정성과 균일성을 보장하여 일관되고 반복 가능한 성능을 보장합니다. 또한, 멀티 포인트 온도 제어 (multi-point temperature control) 및 사용하기 쉬운 프로그래밍 가능한 제어는 각 프로세스 내에서 필요한 매개변수를 충족시킵니다. 도쿄 전자 알파 8SE (TOKYO ELECTRON Alpha 8SE) 는 수평 차가운 벽 설계를 사용하여 열 손실을 줄이고 장치 내부에서 정확한 온도 조절을 보장합니다. 조절 가능한 극은 사용 편의성을 높이고 재료 슬라이딩을 방지하여 프로세스 전체에 균일 한 온도를 보장합니다. 또한, 장파 적외선 열그래피 및 온도 피드백 (feedback) 과 같은 기능으로, 근로자는 비용이 많이 드는 온도 관련 실수를 피하고 프로세스 안정성을 향상시킬 수 있습니다. 화산 웨이퍼 시리즈 확산 가스 혼합 시스템과 함께 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8SE는 웨이퍼 균일성이 높은 빠른 프로세스를 생성합니다. 또한, 유연한 로봇뿐만 아니라 Ultravac 진공 밸브와 펌프 (pump) 를 통합하여 프로세스 속도를 높이고 수작업 비용을 줄일 수 있습니다. 정기적 인 유지 보수 및 서비스를 위해 ALPHA-8 SE 는 간편한 액세스 포인트로, 더욱 간편하고 안전한 수리를 지원합니다. 또한 가스 트랩, 비드 히터, 수냉식 방열판, 터보 분자 펌프 (turbo molecular pump) 를 포함한 다양한 추가 액세서리가 추가 열 및 가스 제어를 제공합니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S E 확산 로와 함께 제공되는 액세서리는 다양한 고급 마이크로 전자 장치를 생산하기위한 강력하고 안정적인 플랫폼을 제공합니다. 첨단 전자 제품, 다용도 액세서리 (versatile accessory) 와 더불어 뛰어난 디자인과 소재로, 이러한 장치를 생산하는 데 가장 안정적이고 비용 효율적인 방법 중 하나입니다.
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