판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #122705
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판매
ID: 122705
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2007
Thermal process furnace, 8"
Flat type wafer
Signal tower: (4) color
I/O type
Rapid cooling unit
Capacity: (125) wafers per batch
Controller
Waves V3.23 R001 (D01FFF-000F)
(2) HDD: 4.3 GB
TEB 408 HDMC Rev 2.0B
SVA 041
TEB 107 ECS5
DVE P750/51-TR
TEB 103 FPIF
Temperature controller: 560A
Pressure controller: CKD
WVG controller: WVG-SC-010Y1B2B
Vacuum pump: Ebara A150W-T
2007 vintage.
텔/도쿄 전자 알파 8SE (TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE) 는 통합 된 공정 챔버 및 수송 기능으로 고급 열 프로세스를 용이하게하도록 설계된 확산 로와 액세서리입니다. 설계는 Power-MOS, 전용 전원 장치, BiCMOS 및 고온 포장을 포함한 다양한 응용 프로그램을 지원합니다. TEL ALPHA-8SE (TEL ALPHA-8SE) 는 진공 웨이퍼 전송 장비를 위해 확산 용광로 중에서 두드러지며, 이를 통해 층류 유동 격리 챔버에서 확산 용광로의 공정 챔버로 웨이퍼를 옮길 수 있습니다. 이는 확산 과정에서 최대 청결과 환경 관리를 보장합니다. 이송 "시스템 '은 또한 문 을 열지 않고도" 웨이퍼' 를 조작 하기 가 더 쉬워지거나 오염 에 노출 시킬 수 있다. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE는 또한 고성능 및 다기능 디지털 프로세스 컨트롤러를 갖추고 있습니다. 이 제어기는 확산 챔버 (diffusion chamber) 의 온도 및 압력 (pressure) 과 복잡한 프로세스의 프로그래밍을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 컨트롤러는 온도와 압력 (pressure) 을 다른 속도로 청소하여 기본 (basic) 에서 가장 복잡한 (most complexed) 까지 다양한 프로세스 매개변수를 설정할 수 있습니다. 도쿄 전자 알파 8SE (TOKYO ELECTRON Alpha 8SE) 는 독특한 저압 반응 가스 전달 기능을 가지고 있으며, 이를 통해 가스 반응물이 안전하고 정확하게 전달됩니다. 이것 은 또한 "확산 '과정 이 매우 좁고 균일 한" 프로파일' 로 유지 되며, 반응물 들 이 고압 으로 "샘플 '의 표면 에서 부분적 으로 확산 되지 않도록 한다. 이로 인해 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-E는 고급 열 프로세스에 이상적인 장치로 사용됩니다. ALPHA-8 SE는 통합 제어 장치에도 사용됩니다. 이 시스템을 사용하면 복잡한 프로세스와 사전 설정된 온도, 압력 프로파일을 프로그래밍할 수 있습니다. 또한, 이 통합 제어 도구는 샘플 모니터링, 가스 모니터링, 안전 모니터링, 용광로 자산의 예방 및 유지 관리를 담당합니다. 이를 통해 TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-E 확산 로의 효율성과 안정성이 극대화됩니다. 알파 8SE 확산로 (Alpha 8SE diffusion furnace) 는 설계 및 구성으로 인해 오염이 최소화되고 높은 수준의 반복성과 신뢰성으로 열 공정을 수행 할 수 있습니다. 이것은 고급 열 처리 및 연구에 이상적인 선택입니다. 또한, TEL ALPHA 8 SE는 고정밀 온도 조절, 고압 반응 가스 전달 및 다양한 종류의 공정 도구와의 유연한 통합을 독특하게 결합합니다.
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