판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-ZVANS #293590991

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-ZVANS (TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-ZVANS) 는 성능과 안정성을 향상시키기 위해 다양한 액세서리를 갖춘 고급적이고 안정적인 확산 용광로 장비입니다. 이 시스템은 뛰어난 균일성 (unifority) 과 왜곡 제어 (distortion control) 를 위한 고급 웨이퍼 전송 (wafer transfer) 로봇으로 제작되어 고급 웨이퍼 프로세스에 가장 적합한 솔루션 중 하나입니다. TEL Alpha 8SE-ZVANS는 수평으로 구성된 i- 조사 확산 로를 사용하여 균일성과 정확도를 향상시킵니다. 각 웨이퍼에 걸쳐 균일 한 온도 프로파일을 자랑하며, 중앙 온도는 섭씨 1,200도, 온도 균일성은 200mm 이상입니다. 또한, TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-ZVANS의 온도 균일성은 고급 제어 장치에 의해 자동으로 조정 될 수 있습니다. 또한 BOGG (Built-In Oxide Gas Generator) 를 사용하여 산화물 증착 공정의 반복성과 정확성을 향상시킬 수 있습니다. BOGG의 저압 혈장 공급원 (low-pressure plasma source) 은 산화 매개변수의 정확한 제어를 가능하게하여 솔 겔 (sol-gel) 및 CVD 산화물의 품질을 향상시키는 귀중한 자산입니다. 알파 8SE-ZVANS (Alpha 8SE-ZVANS) 는 또한 핫플레이트 및 고속 난방/냉각판을 특징으로하며, 실리콘 기판을 처리 할 때 균일성이 높아집니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-ZVANS는 업계 최고의 확산 로뿐만 아니라, 공구 운영을 개선하기 위해 다양한 맞춤형 액세서리를 갖춘 선박입니다. 정확한 웨이퍼 포지셔닝을위한 AC 롤러 암, 자동 삽입을위한 웨이퍼 로더 (Wafer loader) 및 한 번에 최대 8 개의 웨이퍼를 처리하기위한 ECF-Front 로봇과 같은 뛰어난 자산 제어를 제공하는 여러 웨이퍼 처리 장치가 제공됩니다. 마지막으로, 이 모델에는 향상된 하드웨어 장비 모니터링을 위한 최첨단 소프트웨어 솔루션이 장착되어 있습니다. 이러한 솔루션에는 AioSoft DB Suite 및 Aptio Analyze System이 포함되며, 실시간 분석 및 온도 조절, 균일성, 전체 성능 매개 변수와 같은 통찰력 있는 웨이퍼 정보를 제공합니다. 전반적으로, TEL Alpha 8SE-ZVANS는 매우 효율적이고, 안정적이며, 정확한 확산 용광로 장치이며, 필요한 모든 기능과 뛰어난 성능을 보장하는 통합 액세서리를 갖추고 있습니다. 뛰어난 온도 균일성, 고급 가스 발전기, 핫 플레이트 및 기타 고유 한 액세서리를 갖춘 TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-ZVANS는 고급 웨이퍼 프로세스에 이상적인 솔루션입니다.