판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-ZVANS #293590988

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-ZVANS는 반도체 제조를 위해 설계된 확산 로와 액세서리 장비입니다. 서브 미크론 패턴과 전도성 금속 증착이 가능합니다. 이 시스템에는 열 절연 챔버와 조절 가능한 공기 흡입 및 배기 통풍구가 있습니다. 대형 챔버 크기와 효율적인 온도 조절은 3D 구조, 이중 레벨 금속화, 고가상도 비아 (vias) 와 같은 매우 높은 세부 프로세스를 충족 할 수 있습니다. 이 장치는 최대 8 인치 직경의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 또한, 강력한 Nc 제어 모션 머신은 확산 프로세스의 모든 측면을 정확하게 제어 할 수있는 기능을 제공합니다. TEL Alpha 8SE-ZVANS 확산 로는 매우 높은 온도 정확도와 신뢰성을 제공합니다. 자동화된 CCS (Computer Controlled Tool) 는 확산 프로세스 전반에 걸쳐 온도, 압력 및 기타 매개변수를 정확하게 유지하고 모니터링할 수 있습니다. 고급 열 절연을 사용하여 챔버 전체에서 안정적인 온도를 유지합니다. 뛰어난 온도 조절 에셋과 프로그래밍 가능한 밸브를 통해 증착, 어닐링, 도핑을 정확하게 제어할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-ZVANS 확산 로에는 용광로 위로 이동하고 하중을 낮추는 완전 자동 전송 모델이 제공됩니다. 반도체 장치의 처리량이 많은 인체 공학과 안전한 언로드를 위해 설계되었습니다. 게다가, 그것 은 "웨이퍼 '가 오염 되지 않도록 통합 된" 실리콘 웨이퍼' 모니터링 장비 를 갖추고 있다. 또한 Alpha 8SE-ZVANS 확산 로에는 와퍼를 빠르고 효율적으로 로드 및 언로드 할 수있는 래치 시스템이 있습니다. 또한 전체 확산 과정에서 일관된 챔버 (chamber) 조건을 유지하기 위해 조절 가능한 역압을 제공합니다. 또한, 전체 장치의 빠른 냉각을 위해 통합 냉각 팬이 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-ZVANS 확산 로와 액세서리 머신은 강력하고 안정적인 성능을 위해 설계되었습니다. 방의 크기, 조정 가능한 온도, 압력 조건, 온도 균일성 (temperity uniformity) 이 크면 고급 반도체 장치의 확산에 이상적인 선택이됩니다.