판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-ZANRS #293590992

TEL Alpha 8 SE-ZANRS는 고온 반도체 처리를 위해 설계된 확산 로와 액세서리입니다. Alpha 8 SE-ZANRS는 용광로 챔버, 열 사이클 제어 장치 및 가열 요소로 구성됩니다. 섭씨 2000 도까지의 온도가 가능하여 알루미늄, 구리, 텅스텐, 실리콘 등 다양한 물질에 적합합니다. Alpha 8 SE-ZANRS는 빠른 대피 시스템, 3 차원 스캔 진공 제어 시스템, 핫 월 트레일러 등 다양한 진공 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 이러한 기능은 Alpha 8 SE-ZANRS를 IC, LED 및 기타 반도체 장치의 생산에 이상적인 장치로 만듭니다. 기판 크기를 최대 8 인치 x 8 인치까지 처리 할 수 있습니다. 효과적인 운영을 위해 Alpha 8 SE-ZANRS에는 가스 전달 시스템 (gas delivery system) 이 장착되어 가스 구성 및 유속을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 장치에는 각각 자체 흐름 제어 포트가있는 3 개의 개별 가스 콘센트가 포함되어 있습니다. 가스는 가열 요소에서 기질로 펌핑되어 열주기를 제어합니다. exter @ info: whatsth