판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-ZANRS #293590977

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-ZANRS
ID: 293590977
빈티지: 2001
Furnace 2001 vintage.
TEL (TOKYO ELECTRON) TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-ZANRS는 반도체 및 산화물 레벨 응용 분야에 이상적인 확산 용광로 및 액세서리 세트입니다. 이 장비는 고급 ZARS (Zone-Automated Radar Sensing) 기술을 사용하여 확산 용광로의 온도와 압력을 정확하게 모니터링하고 제어합니다. 또한 프로세스의 요구 사항에 따라 속도와 정확도를 빠르게 전환할 수 있습니다 (영문). TEL Alpha 8SE-ZANRS (TEL Alpha 8SE-ZANRS) 는 단일 벽면 석영 튜브를 디퓨저로 사용하여 균일하고 균일 한 결과를 위해 열을 방출합니다. 석영 튜브는 절연 가스 챔버에 밀봉되어 확산 로가 최대 온도 2000 ° C (3602 ° F) 에 도달 할 수 있습니다. 마이크로 컨트롤러 (micro-controller) 는 공정의 온도와 압력을 모니터링하여 캐리어 가스의 흐름과 공급되는 열량을 제어합니다. 사용자는 또한 온도 상한 (upper temperature limits) 및 온도 하한 (lower temperature limits) 을 설정하여 프로세스가 항상 지정된 범위 내에 유지되도록 할 수도 있습니다. TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-ZANRS (Touch Screen 8SE-ZANRS) 에는 사용자에게 프로세스 정보의 실시간 디스플레이를 제공하는 터치 스크린 LCD 디스플레이도 있습니다. 이를 통해 사용자는 프로세스를 시각적으로 모니터링하고, 문제를 쉽고 빠르게 파악할 수 있습니다. 온도와 압력 (pressure) 이 세트 한계를 초과할 때 사용자에게 경고하는 경고 (alarm) 설정도 있습니다. 알파 8SE-ZANRS (Alpha 8SE-ZANRS) 는 확산 로의 온도 및 압력을 모니터링하고 제어하는 것 외에도 다양한 액세서리 (accessory) 를 장착하여 사용자가 확산 로의 설정을 사용자 정의할 수 있습니다. 여기에는 다양한 어닐링 서셉터 (annealing susceptor) 와 도가니 (crucible), 공정 환경 통제에 도움이 되는 가스 조절기 및 환기 시스템이 포함됩니다. 또한, 이 장치는 사용자에게 추가적인 제어 (control) 및 분석 (analysis) 옵션을 제공하는 다양한 컴퓨터 프로그램과도 호환됩니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-ZANRS는 반도체 및 산화물 레벨 응용 분야에 이상적인 고급 확산 용광로 및 액세서리 세트입니다. 이 기계에는 ZARS 기술, LCD 디스플레이, 다양한 액세서리 (액세서리) 등 효율적이고 안정성이 높은 다양한 기능이 장착되어 있습니다. TEL Alpha 8SE-ZANRS (TEL Alpha 8SE-ZANRS) 를 사용하면 프로세스를 정확하게 모니터링하고 제어하여 최적의 결과를 얻을 수 있습니다.
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