판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-ZANRS #293590975

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-ZANRS 확산 로와 관련 액세서리는 반도체, 광전자 및 광전자 산업에서 하이엔드 애플리케이션을 위해 인사이트 (in-situ) 및 엑스 사이트 (ex-situ) 프로세스를 모두 구현하기위한 비용 효율적이고 신뢰할 수있는 방법을 제공합니다. TEL Alpha 8SE-ZANRS는 범용 고온 확산 로로, 최대 1000 ° C의 온도에서 작동하여 산화, 질화, 환원, 줄 난방 및 소결 공정을 수행하는 데 적합합니다. 용광로는 수정 된 석영 반사기 (quartz reflector) 가 장착 된 넓은 저압, 고압, 고진공 챔버 (high-vacuum chamber) 로 둘러싸여 있으며, 이는 챔버의 내부 표면 전체에 대한 열 강도와 균일 한 분포를 제공합니다. 또한 전체 "챔버 '는 물질 의 파열 과 오염 을 최소화 하기 위한 극히 짧은" 어닐링' 주기 시간 으로 설계 되었다. 또한, 강력한 온도 조절 시스템 및 다중 구역 가열로 인해 TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-ZANRS는 안정적으로 유지되며 연장 된 시간 동안 규칙적인 온도를 유지할 수 있습니다. 알파 8SE-ZANRS (Alpha 8SE-ZANRS) 의 외부 인클로저는 중량 스테인리스 스틸로 제작되었으며 외부 소스의 오염을 방지하기 위해 제작되었습니다. 이 용광로 는 여러 가지 부가적 인 "액세서리 '를 이용 하여" 컨트롤러' 와 난방 요소, "램프 '로 인한 우발적 인 손상 으로부터 보호 하기 위한 특수" 램프' 방패, 산화 수준, 질화 및 감소 를 결정 하기 위한 "웨이퍼 '검사기, 필요 한 반응성 있는" 가스' 를 만들기 위한 "가스 믹서 '등 을 보충 한다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-ZANRS의 기술적 특징으로는 최대 적재 용량이 9kg, 챔버 깊이가 15cm 인 쿼츠 보트 및 유속 0.02ml/min ~ 10ml/min의 가스 챔버가 있습니다. 또한 0 ~ 100% 의 조절 가능한 범위와 최대 8 개의 존 (zone) 을 갖춘 다중 구역 난방 시스템을 갖추고 있으며, 빠른 난방을 위해 고주파 전원 (300 ~ 400kHz) 이 램프 하우징에 내장되어 있습니다. 결론적으로, TEL Alpha 8SE-ZANRS 확산 로와 관련 액세서리는 고급 반도체, 광전자 및 태양 광 응용을 위해 안정적이고 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 견고한 구조, 여러 가지 안전 기능, 조절 가능한 온도 범위, 효율적인 어닐링 사이클 타임 (anneing cycle time) 으로, 이 고온은 선반 수명이 긴 양질의 제품을 생산하는 데 이상적입니다.