판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE ZABFNS #9003694

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE ZABFNS는 고급 반도체 웨이퍼의 높은 처리량 연계를 위해 설계된 확산 로와 액세서리 패키지입니다. 8 베이 수직 광로, 기판 전송 장비 및 제어 소프트웨어 제품군이 특징입니다. TEL Alpha 8SE ZABFNS의 8 베이 수직 로는 600 ° C ~ 1300 ° C의 정격 온도 범위를 가진 고온 정밀 어닐링 장치입니다. 여기에는 7 초 이내에 온도를 200 ° C까지 높일 수있는 용량의 이중 레벨 할로겐 램프가 포함되어 있으며, 6 분 만에 어닐링 시간이 가능합니다. 또한, 7 포인트 압력 교정 조절기에서 확산 세포 질량 흐름 제어기 (plasma-enhanced annealing) 에 널리 사용되는 다수의 가스 흐름 제어 시스템을 특징으로합니다. TOKYO ELECTRON Alpha 8SE ZABFNS의 기판 전송 시스템을 사용하면 빠른 속도로 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 장치에는 두 개의 기본 모듈 (로더 및 언로더) 로 구성된 혁신적인 선형 전달 머신이 포함되어 있습니다. 로더는 8 인치 웨이퍼를 처리 단계 사이에 빠르게 로드하고 언로드할 수 있도록 함으로써 즉각적인 운영 효율성과 유연성을 제공합니다. 언로더는 고유한 기울어진 척 (tilted chuck) 전송 도구와 완전하게 자동화된 웨이퍼 카트 (wafer cart) 의 도움으로 속도와 처리량을 향상시킵니다. Alpha 8SE ZABFNS (Alpha 8SE ZABFNS) 의 제어 소프트웨어는 사용자가 원격으로 프로세스 데이터를 모니터링하고, 자산 정보에 액세스하고, 모델 작업에 대한 수동 제어를 허용함으로써 사용자 효율성과 정확성을 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. 표준 프로세스 실행 (create, saving, executing standard process run) 을 위한 통합 레시피 데이터베이스를 비롯하여 고급 분석 및 보고 기능을 소프트웨어를 통해 사용할 수 있습니다. 요약하자면, TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE ZABFNS는 반도체 웨이퍼의 높은 처리량 어닐링에 최적화된 고급적이고 신뢰할 수있는 확산 용광로 장비입니다. 8 베이 수직 광로, 기판 전송 시스템, 최고의 효율성 및 정확성을 위한 강력한 제어 소프트웨어가 특징입니다.