판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-Z #9395874

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-Z는 다양한 반도체 제조 공정을위한 확산 용광로 및 액세서리입니다. 이 확산 로는 정밀한 온도 조절 및 균일성을 제공하도록 설계된 완전 자동화, 고온, 가스 연사 로입니다. 고급 열 구조 (Advanced thermal structure) 는 전체 난방 구역에 균일 한 온도 분포를 제공하여 균질하고 정확한 결과를 얻습니다. TEL ALPHA 8SEZ의 온도 범위는 300 ° C ~ 1350 ° C이며 최대 온도 변화는 ± 4. ° C입니다. 이 용광로 는 가열 된 원소 들 의 배열 의 도움 으로 "반도체 '기판 의 전체 수직" 슬라이스' 를 따라 균일 한 가열 을 하도록 설계 되었다. 이 퍼니스에는 혁신적인 열 설계, 고성능 가스 공급 장비, 고급 제어 시스템 (Advanced Control System), 맞춤형 주변 장치 등 여러 기능이 장착되어 있습니다. 이러한 기능은 용광로의 높은 프로세스 처리량 및 반복성에 기여합니다. 가스공급장치 (Gas Supply Unit) 는 가스조성의 급격한 변화로 인해 가열된 원소에 대한 최적화된 가스 혼합 및 열 충격의 감소를 제공하도록 설계되었습니다. 이로 인해 TOKYO ELECTRON ALPHA-8SE-Z는 어닐링에서 확산까지 다양한 열 프로세스에 이상적입니다. 고급 제어 장치 (Advanced Control Machine) 를 사용하면 가열 단계와 냉각 단계 간의 동기화를 통해 정밀한 온도 제어를 수행할 수 있습니다. 제어 툴은 사용자의 특정 요구 사항 (예: 자동화된 프로세스 조정, 레시피 최적화) 에 맞게 사용자 정의할 수도 있습니다. 맞춤형 주변 장치 (Peripheral Equipment) 를 통해 용광로를 기존 생산 라인에 빠르고 쉽게 통합 할 수 있습니다. 알파 8SE-Z (Alpha 8SE-Z) 는 뛰어난 열 성능 외에도 여러 내장 안전 시스템과 폭발 방지 구조로 안전 표준을 충족하도록 설계되었습니다. 또한 미세 칩을 외부 자기 간섭으로부터 보호하기 위해 일체형 Faraday Cage, RMU (Resistance Measurement Unit) 및 MSC (Magnetic Core Sensor) 가 장착되어 있습니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SE Z는 다양한 반도체 프로세스에 대해 정확한 온도 조절 및 균일성을 제공하도록 설계된 업계 최고의 확산 로입니다. 고성능, 안전 표준, 필수 액세서리를 갖춘 ALPHA-8SE-Z 는 모든 반도체 제조 설비에서 안정적인 확산 용광로 (diffusion furnace) 제품을 찾는 데 매우 적합합니다.