판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-Z #293820846

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-Z는 고급 질화물 증착 기능과 정확한 웨이퍼 공정 제어를 제공하는 확산 용광로 및 액세서리입니다. 고효율 설계와 강력한 프로세스 기능을 갖춘 TEL ALPHA 8SEZ는 III-V 화합물로 만든 초박형 고급 반도체 장치에 적합합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-8SE-Z에는 독특하고 강력한 수평 타입 멀티 챔버 디자인이 장착되어 있습니다. 이를 통해 3 구역의 가열 된 Crucible 및 Hot Zone 설계로 인해 최대 1200 ° C의 고온과 높은 공정 정확도 및 반복성이 가능하며, 실리콘 및 복합 반도체 장치 제조에서 더 큰 효율성을 기대할 수 있습니다. 고효율 프로세스는 동적 온도 조절 (Dynamic Temperature Control) 기능으로 더욱 향상되어 온도 및 증착률에서 더 균일 한 프로파일을 제공합니다. TEL Alpha 8SE-Z는 또한 듀얼 전열 및 로딩 옵션을 제공하여 용광로 장비의 효율적인 작동 및 신뢰성을 보장합니다. 용광로 의 빠른 전열 (preheating) 모드 를 이용 함 으로써, "웨이퍼 '" 카세트' 의 열 "스트레스 '를 최소화 시키면서도 공정 시간 을 줄일 수 있다. 이 시스템에는 입자 측정, 가스 분석, 총 질소 구성 검출기 (total nitrogen composition detector) 및 엔드 포인트 모니터링 시스템 (endpoint monitoring system) 과 같은 다양한 품질 모니터링 기능이 장착되어 있습니다. 이를 통해 사용자는 프로세스 매개변수를 모니터링하고 신속한 피드백을 얻어 질화물 (nitride) 응용 프로그램의 제어를 강화할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SE Z 는 사용자에게 친숙한 GUI (Graphical User Interface) 옵션도 제공하며, 사용자는 프로세스 매개 변수를 편리하게 관리하고, 데이터 로그를 보고, 장치 상태를 쉽게 모니터링할 수 있습니다. 또한, 컨트롤러는 용광로 (Furnace) 시스템 네트워크 연결을 지원합니다. 즉, 사용자는 장치를 원격으로 액세스하고 관리할 수 있으며, 프로세스를 쉽게 모니터링하고 문제를 해결할 수 있습니다. 전반적으로, ALPHA-8SE-Z는 효율적이고 강력한 확산 로로, 정확한 웨이퍼 공정 제어 및 최적의 질화물 증착을 제공합니다. 이 기계는 다양한 고급 기능, 품질 모니터링 시스템, 편리한 네트워크 연결 (Network Connection) 을 갖추고 있어 신뢰성과 높은 순도의 질화물 증착을 가능하게 하며, 더 뛰어난 정확성과 반복성을 제공합니다.