판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-Z #293820845

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-Z는 확산 로와 관련 액세서리입니다. 이 확산 용광로 (diffusion furnace) 는 고급 반도체 처리에 사용하기 위해 특별히 고안되었으며, 연구자들은 더 정밀하게 강력하고 효율적인 칩을 만들 수 있습니다. TEL ALPHA 8SEZ는 최신 장치 제작에 필요한 광범위한 중요한 프로세스 기능 (예: 정밀한 온도 조절, 고출력 전달, 고출력 기판 처리) 을 제공하는 독보적인 기능입니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-8SE-Z는 0.1 ° C의 해상도로 온도를 제어하고 최대 1000 ° C의 최대 온도를 제공 할 수 있습니다. 광학 파장 범위가 4 ~ 38 미크론, 광학 각도 해상도가 0.02 ° 인 개방면, 폐쇄 루프 피로미터 (closed-loop pyrometer) 가 장착되어 확산 과정에서 기판 샘플의 온도를 측정하는 데 정밀도가 높습니다. TEL ALPHA-8SE-Z는 정량적 열 무결성을 유지하기 위해 엄격한 온도 내성을 보유합니다. 알파 8SE-Z (Alpha 8SE-Z) 에는 반도체 처리를 돕기 위해 액세서화 된 도구 배열이 장착되어 있습니다. 여기에는 4-zone EDGE 프로세서, Wafer-Y-Table, Mask-Y-Table, Process-Y-Table 및 After-Processer가 포함됩니다. 4-zone EDGE 프로세서는 고급 웨이퍼 에지 프로파일링을 제공하도록 설계되어 에칭, 확산, CMP 및 기타 프로세싱에서 더 높은 장치 생산량을 허용합니다. Wafer-Y-Table (Wafer-Y-Table) 을 사용하면 수직 축에서 웨이퍼를 이동할 수 있으므로 사용 편의성과 보다 효율적인 사용자 작업을 쉽게 수행할 수 있습니다. Mask-Y-Table (마스크 Y-테이블), Process-Y-Table (프로세스 Y-테이블) 및 After-Processer (애프터-프로세서) 는 웨이퍼를 처리할 때 사용 편이성을 높이고 사용자가 정확하고 정확하게 복잡한 프로세스를 수행할 수 있도록 합니다. 또한 ALPHA 8SEZ는 PID 루프 컨트롤러 및 PLC (programmable logic controller) 를 포함한 고급 자동화 기능을 제공하여 자동화를 촉진하고 사용자 작업 시간을 단축합니다. 또한 독점 배치 제어 시스템 (BCS (Batch Control System) 이 장착되어 있는데, 이 시스템은 프로세스 레시피를 저장, 관리하도록 설계된 고급 메모리 칩 시스템으로, 여러 레시피를 저장하여 빠르고 쉽게 액세스할 수 있습니다. TEL 알파 8SE-Z (Alpha 8SE-Z) 는 또한 질소 대기, 온도 차단, 냉각 보호 및 다양한 모듈식 경보와 같은 라인 안전 기능을 갖추고 있으므로 연구 실험실 및 생산 규모 설치에 이상적입니다. 품질 자재 및 부품을 보장하기 위해 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SE Z 용 모든 구성 요소는 유명한 공급 업체에서 공급되어 호환성, 신뢰성 및 장기 성능을 보장합니다. 결론적으로 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8SE-Z는 예술 확산 용광로 및 액세서리 패키지의 상태입니다. 온도 조절, 정밀 기능, 자동화 기능, 고급 안전 기능의 조합으로, 고급 반도체 처리 및 생산 규모 설치에 이상적입니다.