판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-Z #293817396

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-Z는 뛰어난 처리 성능을 제공하기 위해 특별히 설계된 확산 로입니다. 그것 은 "실리콘 '광전지, 기질 및 기타 반도체 제조 공정 에 대한 최상 의 열 산화 를 만들어 낼 수 있다. 이 고품질, 비용 효율적인 확산로 (diffusion furnace) 에는 다양한 연구 및 산업 응용 프로그램에 적합한 몇 가지 필수 기능이 있습니다. TEL ALPHA 8SEZ는 최고의 열 특성을 제공하며, 최대 작동 온도는 최대 1150 ° C, 최대 난방 속도는 4 ° C/sec이며, 빠르고 고품질 열 처리를 지원합니다. 용광로는 배치 (Batch) 와 연속 (Continuous) 의 두 가지 모드로 작동하여 응용 프로그램 중 유연성을 높일 수 있습니다. 일괄 처리 모드 (Batch Mode) 는 챔버 전체의 열 기울기가 최소인 더 균일 한 온도를 허용하는 반면, 연속 모드 (Continuous Mode) 는 필요한 경우 정밀한 온도 조절 및 빠른 가열 및 냉각을 가능하게합니다. 고급 디자인에는 높은 소스 및 균일 한 온도 분배, 전체 챔버에 대한 높은 열 균일 성을 제공 할 수있는 6 층 몰리브덴 실라이드 히터 (silicide heater) 가 포함됩니다. 퍼니스에는 또한 쿼츠 튜브 히터 (quartz tube heater) 와 열적으로 격리 된 더블 월 (double wall), 304 스테인리스 스틸 챔버 (stainless steel chamber) 가 제공되어 부식 내성과 고성능. 이 독특한 디자인은 낮은 수준의 오염을 허용하고, 뛰어난 열 전달 성능을 보장합니다. 즉, 프로세스 조건을 처음부터 끝까지 모니터링하는 실시간 자동화 시스템 (Real-Time Automation System) 덕분에 작업을 쉽게 관리할 수 있습니다. 정확한 제어를 위해 TOKYO ELECTRON ALPHA-8SE-Z는 온도를 지속적으로 모니터링하고 ± 1 ° 정밀 범위 내에서 제어를 유지하는 디지털 PID 제어 루프를 갖추고 있습니다. 또한, 보호 코팅은 프로세스 중 산화를 방지하여 우수한 품질의 결과를 제공합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8SEZ에는 관측 창 모니터, 대형 개인 압력 제어, 회전 샘플 셔틀, 다양한 표본 보유자 등 다양한 액세서리가 제공됩니다. 이 모든 액세서리는 특수 연구 및 산업 응용프로그램을 위해 용광로를 더욱 사용자 친화적이고 효율적으로 만듭니다. 이 확산 용광로는 고급 디자인, 유연성, 정확한 온도 조절 및 여러 개의 추가 액세서리 덕분에 두드러집니다. TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-Z는 실리콘 태양 광 세포, 기판 및 기타 반도체 제조 프로세스에 이상적인 솔루션입니다.