판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-Z #293736532

ID: 293736532
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2007
Furnace, 8" Process: SOD Type: LP-CVD Air valve: FUJIKIN, CKD STEC Gas box Gases: N2, P-N2, O2, H2 Waves controller Gas flow chart panel Floppy Disk Drive (FDD) Heater chamber I/O Port Cassette transfer Wafer transfer Temperature controller Signal tower Utility box: Power controller Machine controller Pressure controller Water Vapor Generator (WVG) Gas flow chart panel Power box: EMO Unit Control board Transformer SCR Controller N2 Purge unit RCU Unit Operating system: Linux Power supply: 208-120 V 2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-Z Diffusion Furnace는 정교한 프로세스 제어 및 정확성을 제공하도록 설계된 고급 제조 장치입니다. 8SE-Z 확산로 (8SE-Z diffusion furnace) 는 생산 중 모니터링 및 제어 할 수있는 매우 상세한 프로세스를 통해 높은 수율로 인상적인 제품을 생산할 수 있습니다. 대규모 SMB (Small Size Device and Component) 생산에 이상적인 솔루션입니다. 8SE-Z (Rapid Thermal Double-Circuit Process Chamber) 시스템은 온도와 처리 조건의 매우 정확한 확산을 제공하는 빠른 열 이중 회로 프로세스 챔버 시스템입니다. 이 챔버 (Chamber) 는 웨이퍼 (Wafer) 의 여러 섹션에 대한 두 개의 정밀 독립 온도 제어 시스템을 갖추고 있으며, 이를 통해 더 큰 제품 수율을 얻을 수 있습니다. 퍼니스는 또한 저에너지 소산에 대한 자동 사이클링 및 공정 타이밍을 특징으로합니다. 8SE-Z 확산 로는 고성능 스퍼터/에칭 소스와 고온 난로 모듈로 구동됩니다. 소스 (source) 를 적절한 처리 사양에 맞게 구성할 수 있으므로 확산 프로세스에서 극도로 정확할 수 있습니다. 또한 다양한 프로세스 사전 설정 (process preset) 을 통해 수동으로 설정하지 않고도 매개변수를 빠르게 조정할 수 있습니다. 내장형 고온 난로 (harth module) 는 편리하게 조정할 수 있는 다양한 온도 및 압력 수준을 제공합니다. 8SE-Z 확산 로는 최적의 생산률, 생산량을 제공하도록 설계되어 중대형 (중대형) 생산에 이상적인 제품입니다. 고성능 설계, 고급 온도 조절 시스템, 견고한 구성으로 모두 8SE-Z 는 일관되고 안정적인 성능을 제공합니다. 또한 8SE-Z 는 매우 효율적이고 비용 효율적이며, 최소한의 폐기물로 고정밀 (high-precision) 결과를 보장하는 고급 프로세스 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 이는 일관되고 신뢰할 수 있는 정확성에 의존하는 업계에 이상적인 선택입니다. 또한, 8SE-Z 확산 로는 대부분의 확산 액세서리 (diffusion accessory) 와 호환되며, 다양한 옵션을 통해 가장 까다로운 어플리케이션의 요구 사항을 충족하는 맞춤형 프로덕션 시스템 (Customized Production System) 을 만들 수 있습니다. TEL ALPHA 8SEZ는 현대 생산 라인 및 실험실을위한 필수 도구입니다. 업계의 정확성, 견고한 설계, 에너지 효율성, 탁월한 생산량, 낮은 수준의 생산 손실로 전례없는 제품을 달성할 수 있습니다 (영문). SMB 는 SMB (중소, 중견, 성장 기업) 구성요소를 대규모로 효율적으로 생산할 수 있는 최적의 솔루션입니다.
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