판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-Z #293589215

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-Z는 반도체 산업에서 다양한 첨단 응용 프로그램을 충족하도록 설계된 최첨단 확산 로입니다. 용광로는 실리콘, 화합물 반도체 및 MEMS (Microelectromechanical) 장치와 같은 다양한 기판 재료를 처리하도록 설계되었습니다. 8SE-Z 모델은 현재 시장에서 사용 가능한 최고의 확산 처리 도구 중 하나입니다. 용광로의 주요 구성 요소는 스테인리스 스틸 챔버 (stainless steel chamber), 흑연 서셉터 (graphite susceptor) 및 전원 공급 장치입니다. 방은 용광로 내부의 일관된 열 분포를 보장하기 위해 원통형 (cylindrical) 모양으로 설계되었습니다. 또한 방사형 흐름 가열 (radial flow heating) 요소를 사용하여 균일 한 온도를 전달하여 확산 과정을 정확하게 제어 할 수 있습니다. "서셉터 '는" 흑연' 으로 만들어져 있는데, 이것 은 훌륭 한 열 도체 이며 균일 한 온도 유지 와 조절 을 허용 한다. 전원 공급 장치는 전류 (current) 및 전압 제어 (voltage control) 기능이 있는 고출력, 저소음 스위칭 공급 장치이므로 확산 프로세스를 정확하게 조정하여 원하는 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 8SE-Z (8SE-Z) 는 PID 제어 모드가 적용된 디지털 온도 제어 장비를 통해 사용자가 사전 설정된 온도 프로파일을 기반으로 출력 신호를 자동으로 조정할 수 있습니다. 이 "시스템 '은 용광로 내 의 온대 를 정확 하게 감시 하고 제어 하는 데 사용 되어 가장 정확 한 결과 를 보장 한다. 또한 장비 원격 제어 및 모니터링을위한 PLC (Programmable Logic Controller) 를 제공하여 사용자가 단일 콘솔에서 운영 상태를 모니터링 할 수 있습니다. 또한, 8SE-Z 에는 자동 전송 장치 (Automatic Transport Unit) 가 장착되어 있어 Wafer 및 샘플을 사전 프로세싱에서 최종 완료 상태로 빠르고 효율적으로 이동할 수 있습니다. 이 기계는 처리 프로세스 간소화, 처리 시간 단축, 생산 프로세스 효율화 등을 위해 설계되었습니다. 또한, 8SE-Z에는 환경 챔버 (Environmental Chamber), 배기 도구 (Exhaust Tool) 및 고급 진공 자산과 같은 효율적인 작동을위한 다양한 액세서리가 제공됩니다. 환경실 (Environmental Chamber) 은 정확한 열 제어 및 품질 보증 테스트를 허용하며, 배기 (exhaust) 모델을 통해 사용자는 확산 공정의 제품을 안전하게 방출 할 수 있습니다. 진공 장비 는 "챔버 '내 의 압력 을 대폭 감소 시켜 확산 과정 에서 더 높은 정확도 를 보장 하는 데 사용 된다. TEL ALPHA 8SEZ (TEL ALPHA 8SEZ) 는 오늘날 시장에서 가장 진보적이고 신뢰할 수있는 확산 처리 도구 중 하나입니다. 첨단 디자인, 정밀한 온도 조절 시스템, 다양한 액세서리 (accessory) 를 갖추고 있어 첨단 반도체 어플리케이션에 적합합니다.