판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-E #293652593

ID: 293652593
빈티지: 1999
Furnace 1999 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-E는 다양한 액세서리가 포함 된 혁신적인 확산 로입니다. 이 확산 로는 신속 하고, 신속 한 열 난방 과, 가공 을 할 수 있는데, 이것 은 효율적 이고 효과적 인 퇴적 과정 에 필수적 이다. TEL 알파 8SE-E (TEL Alpha 8SE-E) 는 회전 운동이있는 다용도 웨이퍼 히터 및 증착 플랫폼으로, 단단하고 균일 한 처리 온도를 제공합니다. 에너지 효율 모터와 정확한 온도 조절을 통해 TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-E는 더 빠른 처리량으로 더 높은 정밀 결과를 얻을 수 있습니다. 알파 8SE-E (Alpha 8SE-E) 는 단 몇 초 만에 최대 500 ° C의 온도에 도달하며 전체 프로세스 전체에서 높은 정도의 정확도로 온도를 유지할 수 있습니다. 에너지 효율 모터를 사용하여 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-E는 워밍업 (Warm-up) 및 쿨다운 (cool-down) 기능을 통해 생산성 및 처리량을 높일 수 있습니다. TEL Alpha 8SE-E (TEL Alpha 8SE-E) 는 정밀하고 정확성을 제공하면서 다양한 증착 옵션을 사용할 수 있도록 설계되었습니다. 이는 회전 (rotary) 과 선형 (linear) 모션의 조합을 사용하여 처리 온도 내에서 균일성을 생성함으로써 달성됩니다. TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-E (TOKYO ALPHA 8SE-E) 는 완전하게 자동화된 웨이퍼 클리닝 스테이션을 갖춘 잘 통합된 장비로, 웨이퍼 제품의 품질을 높입니다. 또한 이 시스템에는 고효율의 후처리 솔루션인 B & H6000 클리닝 장치가 포함되어 있습니다. 이 기계는 모든 웨이퍼 (wafer) 크기와 호환되며, 높은 정밀도, 효율성을 지닌 리컨디셔닝 및 연마 웨이퍼를 사용할 수 있습니다. 또한, B & H6000 (B & H6000) 은 웨이퍼 뒷면을 완전히 재구성하여 증착 과정의 초기 단계에서 발생한 잠재적 인 스트레스를 제거하도록 설계되었습니다. 모든 단계에서 프로세스를 모니터링하기 위해 Alpha 8SE-E (Alpha 8SE-E) 에는 다양한 센서와 온도 조절 기능이 장착되어 있습니다. 강착 과정 중, 온도 센서는 공구 전체에 위치하여 일반 온도 (general temper) 와 웨이퍼 온도 (wafer temperature) 의 변화를 모두 감지합니다. 이러한 변화를 모니터링함으로써, 자산은 증착 중 전체 웨이퍼 (wafer) 의 균질한 온도를 보장 할 수 있습니다. 또한, 모니터가 용광로 주위에 설치되어 효율적인 온도 프로파일을 만들 수 있습니다. 이로써 히터 챔버 (heater chamber) 내의 온도가 균일하여 완성 된 웨이퍼 (wafer) 표면에서 더 많은 균일성을 보장합니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-E 확산 로는 반도체 업계에서 귀중한 자산으로, 에너지 효율적인 플랫폼에서 정확성과 균일성을 제공합니다. 이 모델은 로터리 (rotary) 와 선형 (linear) 모션, 그리고 여러 부속 액세서리를 사용하여 웨이퍼 처리 및 처리 방식에 혁명을 일으켰습니다.
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