판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-E #293652592

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-E는 다양한 제조 및 연구 프로세스에 안정적이고 효율적인 결정 증착을 제공하는 고급 확산 로입니다. 이 확산은 실리콘 (Si) 및 기타 반도체 재료를 포함한 다양한 재료에 대한 고품질 증착 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 난방, 냉각 및 압력 조정을위한 2 개의 독립적 인 챔버가 있습니다. 가열 챔버의 온도 범위는 섭씨 1000 도이며, 압력 챔버는 1 내지 760 torr에서 조정 될 수있다. 듀얼 챔버 디자인은 반도체 증착 및 에피 택시를 위해 매우 효율적이고 안정적인 장비를 제공합니다. TEL Alpha 8SE-E 확산 로에는 cryochamber 챔버가 장착되어 있어 섭씨 1300도 이상에서 저온 작동 및 고온 작동이 가능합니다. 또한 GSP (gas supply panel) 및 EMG (electron gun supply) 시스템을 사용하여 전자 빔으로 작동하여 정밀하고 최신 반도체 처리를 가능하게합니다. 프로덕션 프로세스를 최적화하기 위해 용광로에는 PMC (Process Monitoring Controller) 가 장착되어 있어 실행 중 장치를 모니터링하고 제어할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-E 확산 로에는 다양한 특수 액세서리가 장착되어 있습니다. 이 중 가장 인기있는 것 중 하나는 전자 빔 에칭에 대한 조절 가능하고 정확한 전류 제어를 특징으로하는 EVTX (전자 빔 튜너) 입니다. 이 튜너는 수동 기술보다 빠르고, 정확하고, 덜 낭비적인 에칭을 허용합니다. DVT-21 (확산 진공 튜너) -20은 용광로 내부의 압력을 모니터링하고 최적의 처리에 필요한 진공 수준을 유지합니다. IF6-21 (지능형 용광로 기계) 20은 다양한 레시피 매개변수를 사용하여 증착율을 자동으로 최적화하도록 설계되었습니다. 다른 액세서리로는 용광로 내부의 온도 및 압력에 대한 정확한 분석을 가능하게하기 위해 자동 샘플러 및 진공 포트가 장착 된 DAT-21 (확산 분석 도구) 이 있습니다. Alpha 8SE-E는 GeoLab 소프트웨어와도 호환되며, 이를 통해 사용자는 쉽게 매개변수를 제어하고 모니터링할 수 있습니다. 또한, 이 확산 로에는 정확한 온도 표적화를 위해 흑연 난방 요소와 쿼츠 피로미터 (quartz pyrometer) 가 장착되어 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-E 확산 로는 결정 증착 또는 기타 재료 처리가 필요한 산업 및 연구 응용 분야에 적합한 선택입니다. 이 장치는 하이엔드 구성요소와 광범위한 액세서리 (accessory) 를 통해 정확한 제어가 필요한 정밀 프로세스에 적합합니다. 이중 챔버 디자인과 특정 액세서리를 통해 다른 방법보다 더 높은 정확도와 빠른 결과를 얻을 수 있습니다.