판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-E #293600349

TEL/TOKYO ELECTRON Cabinet for Alpha 8SE-E는 반도체 장치 생산에 전용으로 설계된 확산 로와 액세서리입니다. 고급 온도 제어 (Temperature Control) 및 정밀한 전원 입력이 가능하여 최적의 웨이퍼 처리를 보장합니다. 이 장비는 챔버 전체에서 짝수 온도를 유지하기 위해 두꺼운 벽 이중 벽 단열재 (thick-walled double wall insulation) 를 갖춘 무거운 스테인레스 스틸 프레임 구조를 갖추고 있습니다. 또한 최적화된 촉매 버너 (catalyst burner) 제어 모듈이 장착되어 있어 균일하고 효율적인 난방 프로파일을 제공합니다. 이 시스템에는 여러 매개 변수의 정확한 제어 및 자동 장애 복구 기능을 위한 PLC (Programmable Logic Controller) 와 같은 다양한 최첨단 구성 요소가 포함되어 있습니다. 구성 기능이 뛰어난 난방실 (heating chamber) 을 사용하면 다양한 반도체 애플리케이션의 설정을 사용자 정의할 수 있습니다. 이 용광로에는 또한 비상 센서 (Emergency Sensor) 와 같은 고급 안전 기능 (Advanced Safety Features) 이 포함되어 있습니다. TEL Cabinet for Alpha 8SE-E는 높은 처리량과 효율적인 작동을 가능하게 하는 수직 설계를 이용합니다. 또한 쉽게 유지 관리 및 청소할 수 있도록 이동식 바닥이 장착되어 있습니다. 통합 LDF (Low Diffusion Flux) 기술은 확산 프로세스를 완전히 제어하여 최적의 기판 표면 균일성과 청결성을 보장합니다. 또한이 기계는 ESD (Electro Static Discharge) 보호 지침뿐만 아니라 최신 웨이퍼 제작 프로세스를 준수하도록 설계되었습니다. 또한 Alpha 8SE-E (Alpha 8SE-E) 에는 대규모 작업공간이 있어 중앙 한 곳에서 여러 도구를 연결하고 쉽게 운영할 수 있습니다. 또한, 외부 시스템과의 상호 작용을 위한 다중 인터페이스 (Multiple Interface for Interfacing with External Systems) 를 통해 운영 프로세스의 유연성을 높일 수 있습니다. 또한 수동 또는 자동 작업을 위한 소프트웨어 패키지 (옵션) 를 사용할 수 있습니다. 마지막으로, 사용자는 산화 손상으로부터 제품을 보호하기 위해 통합 질소 제거 키트의 혜택을 받습니다. 전반적으로 TOKYO ELECTRON Cabinet for Alpha 8SE-E는 반도체 생산 시설의 효율성, 안전, 유연성을 극대화하기 위해 설계된 다양한 기능을 갖춘 고급 확산 로입니다. 최첨단 기술 (최첨단 기술) 을 채택하여 정밀한 열 조절, 자동 장애 복구, 최신 안전 표준 준수 등의 이점을 제공합니다. 다양한 구성 가능한 옵션을 갖춘 Alpha 8SE-E 는 모든 고성능 반도체 생산 환경에 최적의 솔루션을 제공합니다.