판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SD #293776299

TEL (TOKYO ELECTRON) TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SD 확산 로는 반도체 산업의 시리즈 생산을위한 믿을 수 없을 정도로 안정적이고 성능 중심의 확산 로입니다. 고객은 열 처리를 위한 강력하고 효율적인 솔루션을 제공합니다. 이 확산은 사용자가 이전 버전에 비해 처리량 및 처리량 일관성을 높일 수 있도록 합니다. 또한 수동 조정이나 가동 중지 시간 없이 200mm ~ 6인치 (200mm ~ 6인치) 의 여러 웨이퍼 크기를 처리하도록 특별히 설계되었습니다. TEL Alpha 8SD 확산은 최대 1000 ° C의 확산 및 산화에 고급 열 처리 기술을 사용합니다. 최소 용량의 공간을 차지할 수있는 초소형 디자인이 있습니다. 이것은 고밀도 생산 라인에 이상적입니다. 다중 웨이퍼 크기 처리 (Multiple Wafer size handling) 옵션을 사용하면 필요에 따라 처리량을 쉽게 확장할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-D 확산 로에는 단일 흐름 동적 소스를 포함하는 강력한 독립적 인 분포 시스템이 있습니다. 이를 통해 일관된 프로세스 매개 변수를 유지하면서 고온 및 고출력 응용 프로그램을 쉽게 처리 할 수 있습니다. 고성능 후진 시스템은 또한 균일성을 보장하고 프로세스 전반에 걸쳐 정확한 열 제어 (thermal control) 를 달성합니다. 이렇게 하면 처리 시간을 단축하고 결과를 높일 수 있습니다. 용광로에는 다양한 고급 난방 요소 및 냉각 옵션이 제공됩니다. 직접 가열 된 웨이퍼 지원 및 초저열 사이클링은 빠른 열 램프 속도를 허용합니다. 고급 냉각 옵션은 웨이퍼로 오염을 방지하는 데 도움이됩니다. 또한, 고급 제어 기능은 프로세스에서 반복성과 높은 정밀도를 보장합니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-D 확산 로에는 최대 50 개의 다른 응용 프로그램 작업에 대한 프로세스 레시피를 저장하는 50 단계 프로그래밍 가능한 메모리가 제공됩니다. 프로세스 개발 및 제어를 위해 Windows 기반 PC 전문 제품군 소프트웨어가 제공됩니다. 사용자에게 친숙한 환경을 통해 레시피 입력 및 반복 가능한 프로세스를 쉽게 수행할 수 있습니다. 사용자는 문서와 추적성을 위해 프로세스 보고서를 생성할 수도 있습니다. 결론적으로 TEL/TOKYO ELECTRON (TEL) 의 Alpha 8SD 확산 로는 반도체 산업의 시리즈 생산을위한 믿을 수 없을 정도로 안정적이고 성능 중심의 확산 로입니다. 고객은 열 처리를 위한 강력하고 효율적인 솔루션을 제공합니다. 이 확산은 사용자에게 더 높은 처리량 및 처리량 일관성을 제공합니다. 다양한 고급 난방 요소, 냉각 옵션, 프로그래밍 가능한 메모리, Windows 기반 PC Professional Suite 소프트웨어 등의 추가 기능을 갖춘 이 확산 로는 고밀도 생산 라인에 적합합니다.