판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SD #293741420

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SD는 액세서리를 갖춘 최첨단 확산 로입니다. 반도체 업계에서 애닐링 (Annealing) 과 확산 (Diffusion) 을 주로 제공하는 다양한 프로세스에 사용되는 용광로 유형입니다. 8SD에는 난방 프로세스 환경 챔버 (heating process environment chamber) 가 있으며, 최대 1250 ° C의 고온과 최대 200 ° C의 빠른 열 냉각 속도를 허용하는 냉각 프로세스 환경 챔버 (cooling process environment chamber) 가 있습니다. 첨단 액티브 이온 이온 이식 장치 (advanced active ion implantation unit) 와 고급 액티브 가스 어닐링 장비가 장착되어 있습니다. 8SD는 또한 내장 된 주파수 응답 모니터링 (FRM) 시스템을 가지고 있으며, 여기에는 핫 존 온도 모니터링 (hot zone temperature monitoring) 및 경보 장치가 포함되어 챔버의 온도를 제어 할 수 있습니다. 액티브 가스 어닐링 머신 (Active Gas Annealing Machine) 은 고온 프로파일을 유지하고 전체 챔버의 정확한 균일 성을 제공 할 수 있으며, 이로 인해 처리량이 높아집니다. 또한 8SD는 대규모 수직 히터, 고균일 단열재, 고온 저항 알루미나 (alumina) 구성 요소를 갖추고 있어 생산성을 극대화하고 고품질 어닐링 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 8SD에는 다기능 프로세스 컨트롤러 (Multifunctional Process Controller) 가 있으며, 이는 온도 및 프로세스 조건에 대한 높은 정확성과 매우 유연한 제어를 제공합니다. 8SD는 또한 7 개의 이벤트 프로그래밍 가능 타이머, type-N 열전대 및 작업 로그를 제공합니다. 전반적으로 TEL Alpha 8SD는 액세소리를 갖춘 독특하고 비용 효율적인 확산 로입니다. 정확한 온도 조절, 전체 챔버의 균일성, 고온 저항, 어닐링 수율 극대화 능력 등을 갖춘 8SD (8SD) 는 반도체 산업에 귀중한 추가 요소입니다.