판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SC #9383796

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SC는 대규모 반도체 제작 프로세스에 사용하도록 설계된 확산 로와 액세서리입니다. 이 장비를 사용하면 웨이퍼 온도, 전원 공급 장치 수준, 자체 작동 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. 고성능 집적 회로 제조를위한 고급 도구로서, 다중 계층 확산, 연간 및 산화, 선택적 에미 터, CMP, 저온 anneal 및 Cu 재배포 계층 등 다양한 프로세스를 수행 할 수 있습니다. TEL ALPHA 8 SC는 사용자 정의 가능한 운영 환경과 함께 사용자에게 친숙한 터치 스크린 인터페이스를 제공합니다. 이 시스템에는 수소 누출 시 터빈 (turbine) 과 용광로 (furnace) 를 자동으로 차단하는 이중 벽 외부 챔버 (double-wall outer chamber) 와 같은 여러 안전 기능도 포함되어 있습니다. 이 퍼니스에는 자가 진단 장치 (Self Diagnostic Unit) 가 장착되어 있어 예방 유지 관리 작업을 수행할 수 있으며, 시간이 많이 소요되고 비용이 많이 드는 수리를 방지할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-C (TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-C) 는 독특한 듀얼 존 (Dual-Zone) 난방 머신을 사용하여 섬세한 웨이퍼를 효율적으로 처리하고 해당 영역을 최적으로 활용할 수 있습니다. 영역 제어는 split-zone 작업이라는 강력한 프로그래밍 알고리즘으로 관리됩니다. 이 기술은 웨이퍼 온도가 특정 프로세스의 경우 최적의 수준으로 유지되고, 전력 소비는 최소화하도록 합니다 (영문). ALPHA 8S-C는 샤워 헤드, 증가/낮춤 메커니즘, 존 제어 시스템, 전환 홀더, 로드 락, 롤러 컵 리프터, 로봇, 엔드 이펙터, 센서, 펌프 및 기타 여러 구성 요소를 포함한 광범위한 액세서리를 제공합니다. 또한이 도구는 실리콘, 갈륨 비소, 구리, 티타늄, 석영 등을 포함한 다양한 기질과 호환됩니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SC의 성능은 Total Exhaust Management, Exhaust Profile Control 및 Shared Zone Control과 같은 고급 엔진에 의해 보장됩니다. 이러한 기능은 웨이퍼 생산 프로세스에 탁월한 트림 제어 및 온도 안정성을 제공합니다. TEL Alpha 8SC는 안정적인 작동, 뛰어난 성능, 정확한 제어 기능을 제공하여 대용량 반도체 프로세싱에 적합합니다. 고급 기능, 액세서리 및 사용자 친화적 인 인터페이스로 인해 반도체 제작에 없어서는 안될 도구입니다.