판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SC #9313419

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SC는 다양한 난방, 연관 및 증착 프로세스를 수행하도록 설계된 고급 모델 확산 로입니다. 거의 모든 유형의 프로세스에 사용할 수 있도록 하는 최첨단 (state-of-the-art) 디자인이 특징입니다. 용광로를 구성하는 다양한 구성 요소는 내부 벨 타입 쿼츠 튜브 (bell-type quartz tube), 히터 (heater) 및 외부 실린더 (outer cylinder) 로 구성되어 매우 정밀한 온도 조절 및 균일 한 가열이 가능합니다. 용광로에는 2 단계 석영 배기 장비와 최대 배기 효율을 위해 대형 직사각형 배기 포트 (CRT) 가 장착되어 있습니다. 용광로 (예: 온도 모니터링을위한 이중 열전대, 석영 튜브의 압력을 측정하는 압력 모니터, 다양한 원격 센서) 에 다양한 고급 감지 시스템 (예: 온도, 압력) 이 내장되어 있습니다. 실시간으로. TEL ALPHA 8 SC에는 다양한 액세서리가 장착되어 있어 다양한 프로세스를 수행할 수 있습니다. 여기에는 핫 월 (hot-wall) 및 콜드 월 (cold-wall) 공정을 가능하게하는 전동 웨이퍼 및 덮개 포지셔너, 다양한 샘플 크기를 수용 할 수있는 다양한 샘플 홀더, 생산 링 및 실드가 포함됩니다. 잠금 래치 (locking latch) 시스템을 사용하면 프로세스 중에 다양한 크기의 웨이퍼를 고정할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-C에는 통합 증착 장치가 있으며, 이를 통해 웨이퍼에 박막 층을 정확하게 증착 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SC에는 질소 퍼지 머신 (purge machine) 과 외부 공기 및 기타 오염 물질로부터 오염을 방지하는 스테인레스 스틸 반응 챔버 (stainless steel reaction chamber) 를 포함한 고급 안전 기능이 장착되어 있습니다. 용광로 뚜껑을 이중 밀봉 (double sealed) 하여 연기와 입자가 작업 공간으로 들어가는 것을 방지합니다. 또한, 튜브 반경이 25cm 미만인 오픈 엔드 쿼츠 튜브 (open-ended quartz tube) 는 용광로가 대기를 거의 대기 압력으로 유지할 수 있는지 확인합니다. 자동 도어 (automated door) 도 포함되어 있으며, 이 도어는 냉각되기 전에 용광로를 여는 것을 방지하여 추가 안전을 제공합니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SC는 최첨단 디자인과 고급 기능을 결합하여 최대 온도 조절, 균일 한 난방 및 오염 예방을 보장하는 고급 확산 로입니다. 광범위한 액세서리를 통해 다양한 프로세스를 수행 할 수 있으며, 통합 증착 도구 (integrated deposition tool) 는 박막 증착을 정밀하게 가능하게합니다. 고급 안전 (Advanced Safety) 기능은 용광로 작동이 항상 안전한 방식으로 수행되도록 합니다.