판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SC #9206232

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SC는 반도체 생산을 위해 특별히 설계된 확산 용광로 및 액세서리입니다. 7 챔버 장비에는 2 개의 카세트 로더가 장착되어 있으며 시간당 최대 5,000 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 또한 향상된 백투백 (back-to-back) 난방 시스템을 통해 더욱 빠르고 일관된 난방이 가능합니다. TEL ALPHA 8 SC는 특허를받은 HSA (TEL High Speed Annealing) 를 사용하여 최고 품질의 열 예산과 최소 열 손실을 달성합니다. HSA는 내부 뚜껑을 사용하여 가스를 빠르고 정확하게 도입하고 제거합니다. 또한 "부동 압력 및 온도 도구" 를 사용하여 과도한 가열 또는 냉각을 방지합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-C는 사용 편의성을 고려하여 설계되었습니다. 사용자 친화적 인 터치 스크린 인터페이스를 통해 챔버의 기능을 쉽게 제어할 수 있습니다. 또한, 직관적 인 소프트웨어는 모든 챔버 기능을 쉽게 작동시킵니다. ALPHA 8 SC에는 최고의 열 예산을 보장하기 위해 강력하고 정확한 온도 측정 및 제어를 제공하는 TOKYO ELECTRON PDTP (Pyro-Direct Thermal Processing) 하드웨어가 포함됩니다. 또한, 혁신적인 증기 증착 (vapor deposition) 자산은 전체 프로세스에 균일 한 필름을 제공하여 제품의 품질을 극대화합니다. TOKYO ELECTRON Alpha 8SC (TOKYO ELECTRON Alpha 8SC) 는 프로세스 속도 및 수율 향상을 위해 기판을 실시간으로 측정하는 통합 프로세스 분석기와 함께 제공됩니다. 또한 외부 TEL/TOKYO ELECTRON GRTA (Global Real-time Analyzer) 를 사용하여 온도 및 기타 프로세스 매개 변수를 측정하여 성능을 최적화할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SC에는 TEL Smart Model도 포함되어 있습니다. TEL Smart Model은 프로세스 중 웨이퍼 온도, 압력 및 프로세스 가스 수준을 모니터링하는 고급 장애 감지 및 수정 기능 제품군을 갖추고 있습니다. 또한 예측 모델링 (Predictive Modeling), 온라인 튜닝 (Online Tuning) 과 같은 고급 제어 기술을 지원하여 프로세스 성능을 최적화합니다. TEL ALPHA 8S-C는 프로세스 다양성을 위해 설계되었습니다. 광범위한 호환성을 통해 다양한 기판과 프로세스 흐름 (process flow) 을 처리 할 수 있습니다. 또한 한 공정 (process) 에서 더 부드럽고 빠르게 전환할 수 있도록 간단한 냉각 장비로 설계되었습니다. 전반적으로, Alpha 8SC는 반도체 생산에 탁월한 성능, 쉬운 작동, 프로세스 다용성을 제공하는 고급적이고, 안정적이며, 에너지 효율적인 확산 로와 액세서리입니다.