판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SC #9062879

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SC는 반도체 제조 산업에 사용되는 장비 인 이중 쉘 확산 로와 액세서리입니다. 그것 은 여러 가지 재료 를 "웨이퍼 '에 증착 시키기 위한 최적 의 환경 을 제공 하도록 설계 되었다. 이 확산 로는 고온 산화에서 저온 붕소 임플란테이션 (boron implantation) 에 이르기까지 사용자에게 광범위한 기능을 제공합니다. TEL ALPHA 8 SC는 더 효율적인 처리를 위해 우수한 균일 성과 열 전도성을 제공하는 대형 쿼츠 서셉터 챔버 (quartz susceptor chamber) 를 갖추고 있습니다. 고출력 선형 전자-사이클로트론 주파수 가열 시스템은 최대 1500 ° C의 온도에 도달 할 수 있습니다. 이 장치에는 2 개의 저 방출 피로미터 (low-emission pyrometer) 가 장착되어 있으며 작동 중 서셉터 수준에서 온도를 실시간으로 모니터링합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-C는 또한 총 프로세스 제어 및 데이터 수집을 보장하는 최대 64 개의 프로세스를 갖춘 Automated Batch System을 제공합니다. 이 기계는 정전기 척 (electrostatic chucks) 을 사용하여 처리 중에 웨이퍼를 안전하게 고정시킬 수 있으며, 조정 가능한 거울을 사용하여 들어오는 플라즈마를 지시합니다. 8SC는 고속, 고속 가스 교환 (Gas Exchange) 기술을 통합하여 그리드와 유사한 Anneal Profile 및 프로세스 안정성을 제공하여 보다 빠른 생산 속도를 제공합니다. 효율적인 성능을 위해 고급 팬 분리 시스템 (Advanced Fan Separation Systems) 은 고갈 된 가스와 입자를 작업 영역에서 멀리합니다. 과압 시스템은 또한 작동 중 표면 오염으로부터 웨이퍼를 보호합니다. TEL Alpha 8SC는 매우 자동화된 고성능 작동을 제공하도록 설계되었습니다. 더 빠르고, 더 매끄럽고, 더 쉽고 빠른 디버그/업그레이드 프로세스를 통해 보다 안정적인 작업을 수행할 수 있게 해 주는 GuidalPlus 소프트웨어를 사용합니다. 또한 8SC 는 프로세스를 원격으로 모니터링하고 제어하려는 사용자를 위한 원격 제어 애플리케이션 (옵션) 인 하이퍼드라이브 (HyperDrive) 와 함께 제공됩니다. 요약하자면, 알파 8SC (Alpha 8SC) 는 정교한 확산 로와 액세서리 솔루션으로, 높은 효율성과 정확성으로 웨이퍼 처리에 적합하도록 설계되었습니다. 현대 반도체 제조를 위한 최첨단 (최첨단) 솔루션으로, 많은 제조 설비에 귀중한 부가 솔루션이 될 것입니다.