판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #9383405

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S (TEL ALPHA-8S) 는 고급 임계 수준 반도체 장치 생산을 위해 설계된 확산 로와 액세서리입니다. 이 확산 로 (diffusion furnace) 는 한 번에 여러 웨이퍼를 처리하여 생산 처리량을 증가시킵니다. 5x10-7 Torr의 저기압 인 TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S는 180-1400 'C의 온도에서 우수한 프로세스 제어가 가능합니다. 프로세스 시간은 5-90 초이며 웨이퍼 온도의 균일성은 높으며, 정밀도는 +/-1µm/sec입니다. 이 확산 로의 강력한 기능 및 장점 (Feature & Advantage) 은 공기 베어링, 자력, 높은 정확도 및 향상된 프로세싱의 조합으로 매우 효율적인 에너지 전송 기능입니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S는 매우 높은 니켈 저항 난방 시스템을 제공하여 온도 조절 측면에서 더 안정적이고 효율적입니다. 이 "시스템 '의 내열 은 기존 내성 난방 보다 훨씬 낮기 때문 에" 웨이퍼' 의 실제 온도 는 비교적 높다. 따라서 처리량이 높고, 처리 시간이 단축되며, 균일성 제어가 향상됩니다. 이 용광로 (furnace) 에는 기판 산화를 방지하기 위해 산소 흐름 모니터를 사용한 자동 환경 제어 (automated environment control with oxygen flow monitor) 와 같은 수많은 자동 및 수동 안전 및 유지 관리 기능이 있습니다. 이 프로세스 스테이션은 ESD 보호를 구현하여 전자 피해를 최소화하고, 최적의 가스 흐름 (gas flow) 과 최대 청소 (cleaning) 를 위한 최적의 제거 및 통풍구 제어를 구현했습니다. 최적화 된 보호 메커니즘은 진공 누출, 과압 및 과도한 웨이퍼 부하로 인한 잠재적 피해로부터 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S를 보호합니다. 전반적으로 TEL ALPHA 8 S Diffusion Furnace는 중요한 수준의 반도체 장치 생산을 위해 더 높은 생산성을 달성하려는 사람들에게 훌륭한 선택입니다. 저기압, 정확한 온도 조절, 최적화된 안전 및 유지 관리 기능을 갖춘 TOKYO ELECTRON Alpha 8S 는 최적화된 수율을 위한 탁월한 성능을 제공합니다.