판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #9282768

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S는 액세서리와 함께 제공되는 고급 확산 로입니다. 실리콘 웨이퍼 클리닝, 산화, 붕소 이식, 질화물 증착 및 빠른 열 처리 (RTP), 빠른 열 어닐링 (RTA) 및 레이저 어닐링과 같은 더욱 현지화 된 작업과 같은 다양한 응용 분야에 맞게 설계되었습니다. TEL ALPHA-8S는 합금, 반응, 어닐링 및 증착 프로세스에 대한 고품질 구성 요소 및 고급 기술을 갖추고 있습니다. 고온 합금 및 반응 과정을 가능하게하기 위해 최대 650 ° C/s, 최대 온도 1350 ° C의 빠른 가열 속도를 갖습니다. RTP 3D, 다단계 프로세스 제어, 제조 내 열 사이클 측정, 더 많은 것을 포함한 고급 기술은 정확성, 반복성 및 정확한 프로세스 온도 제어를 제공합니다. 고급 기능을 갖춘 TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S는 높은 신뢰성과 주기 시간을 제공합니다. 확산 용광로는 다공성 세라믹 가열 메커니즘을 통합하여 ± 2 ° C 내에서 온도의 균일성을 실현합니다. 비 균일 한 온도 분포를 감소시킴으로써, 확산 로는 동일한 신뢰성을 갖는 여러 동시 프로세스를 제공 할 수있다. 모든 액세서리는 동일한 신뢰성 있는 난방 메커니즘을 활용하며, 프로세스 창의 통합 뷰 (integrated view of process window) 를 통해 프로세스 완료를 실시간으로 명확하게 평가할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S에는 증착을위한 이온 소스가 장착되어 있으며, RTP 3D 옵션은 초정밀 국소 열 처리를 가능하게합니다. 확산 로의 다중 영역 제어 장치 (multi-zone control unit) 는 동시 주기 실행을 가능하게하여 주기 시간을 8% 더 줄입니다. 확산 용광로 (diffusion fornace) 의 내장 진단 기능을 통해 모든 작동 관련 결함이 쉽게 식별되고 신속하게 수정되어 확산 용광로의 가동 시간이 향상됩니다. 알파-8S (ALPHA-8S) 는 신뢰할 수 있고 효율적이며 정확한 확산 로를 찾는 전문가에게 완벽한 선택입니다. 빠른 가열률, 균일한 온도 분포, RTP 3D, 다중 영역 제어, 내장 진단 등의 고급 기능을 통해 높은 생산성을 보장합니다. 현재 ALPHA 8 S 에 투자하면, 성능 향상과 수익성 증대를 모두 누릴 수 있습니다.