판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #9282234

텔/도쿄 전자 알파 8S (TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S) 는 고밀도 확산 프로세스에 대한 비용 효율적인 솔루션을 제공하도록 설계된 고급 확산 로이자 액세서리입니다. SOI (Silicon-on-Insulates) 기판의 초미세 제어 프로세스에 적합하며 수년간 많은 실험실에서 신뢰할 수있는 도구였습니다. TEL ALPHA-8S에는 프로세스 안정성을 향상시키고 온도 조절 불확실성을 낮추는 자동 슬라이딩 열 절연 가스 실린더가 있습니다. 질소-아르곤 가스 시스템 (Nitrogen-Argon gas system) 은 다양한 용광로 위에서 최대 2 기압의 가스 압력을 생성 할 수 있습니다. 이것 은 섬세 한 기질 을 사용 할 때 필요 한 대기 의 안정성 이 증가 하기 때문 에 유익 하다. 그렇다. 16 개의 수동 조절 식 히터 (KS-16 모델 만 해당) 가 장착되어 있으며, 이 히터는 프로세싱 챔버의 전체 영역 및 기타 고급 기능에 대해 정확한 온도 제어를 제공합니다. 사용자에게 최대의 유연성을 제공하기 위해 TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S 시스템은 2 개의 독점 프로그램으로 완전히 프로그래밍 할 수 있습니다. 이러 한 "프로그램 '은 온도, 경사 속도, 화학 원소 농도, 대기 와 같은 다양 한" 파라미터' 를 근거 로 매우 상세 하고 정확 한 과정 을 구성 할 수 있게 해 준다. 또한, 퍼니스의 개방형 디자인은 맞춤형 목욕 (custom bath) 을 만들고 주석과 금 시간을 빠르게 반사 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S는 또한 고급 진단 및 프로세스 매개 변수에 대한 지속적인 모니터링을 제공합니다. 따라서 장비가 고장날 경우 장애 감지, 보호, 강력한 통계 데이터 수집, 온도 자동 조닝 (zoning) 이 가능합니다. 이러한 기능은 정확한 확산 및 CVD (chemical vapor deposition) 프로세스를 제어하고 검증하는 데 특히 유용합니다. 도쿄 전자 알파 -8S (TOKYO ELECTRON ALPHA-8S) 는 에너지 효율성을 고려하여 G-N2 전기 시스템을 사용하여 전기 소비를 줄이고 수율을 극대화하도록 설계되었습니다. 벨트 (Belt) 스타일의 운송 시스템은 기판 오염의 위험을 줄이기 위해 자체 청소를위한 최적의 환경을 제공합니다. 또한, 자동화된 필터 및 디스크 시스템은 300 x 500mm ~ 600 × 1200mm 크기의 챔버 (chamber) 를 손쉽게 관리할 수 있으며, 넓은 처리 영역에서 효과적이고 안정적인 작동을 제공합니다. 세련된 디자인, 인체 공학적 인터페이스, 오래 지속되는 안정성 때문에 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S는 안정적이고 정확한 확산 프로세스를 위해 비용 효율적인 솔루션이 필요한 연구원들에게 적합한 선택입니다. 이 제품은 SOI 웨이퍼 (SOI wafer) 및 기타 다양한 고급 소재 (advanced materials) 와 같은 고품질 제품을 만드는 데 완벽한 도구입니다.