판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #9257734

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S는 단일 결정 실리콘 웨이퍼에서 집적 회로를 만드는 데 사용되는 컴퓨터 제어 확산 로와 액세서리입니다. TEL ALPHA-8S (TEL ALPHA-8S) 는 처리 평면에 걸쳐 높은 처리량 처리 및 균일성을 보장하기 위해 설계되었으며, 수동 개입이 최소화되어 복잡한 구조를 제작할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S에는 쿼츠 슬리브, 세라믹 슬리브 및 금속 하우징으로 구성된 수직 3 파트 로딩 튜브가 장착되어 있습니다. 수직 로딩 (vertical loading) 구성은 전체 로드된 웨이퍼를 용광로 (furnace) 중심의 고온 영역과 정렬하도록 설계되었습니다. 이것 은 적재 지역 전체 에 균일 한 고온 을 유지 하고, "웨이퍼 '에 대한 산화 및 산화 를 방지 하는 데 도움 이 되는 뜨거운 공기 의 수직 대류 를 조절 한다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S에는 3 개의 난방 구역 (HZ), 프리 히트 존 (PHZ), 로드 존 (LZ) 및 프로세스 존 (PZ) 이 있습니다. PHZ는 100 ° C - 200 ° C이며, LZ에 들어가기 전에 웨이퍼를 원하는 온도로 가열하는 데 사용됩니다. LZ는 상단 영역 (TR) 과 하단 영역 (BR) 의 두 영역으로 나뉩니다. 이 두 지역 모두 독립 "가스 '와 온도 조절 장치 가 갖추어져 있어" 가스' 의 흐름 과 온도 를 정확 히 제어 할 수 있다. LZ는 800 ° C - 1300 ° C의 온도로 가열되며 온도는 전체 로딩 평면에서 +/-5 ° C입니다. PZ는 전체 공정 평면에서 +/-5 ° C의 균일 성을 유지하면서 1500 ° C - 1800 ° C 범위의 온도에 도달 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S는 또한 가스 제어 콘솔, 웨이퍼 리프터, 쿼츠 및 세라믹 튜브 어셈블리, 특수 도가니 및 기능을 향상시키는 도어 인터 록과 같은 종합적인 액세서리를 제공합니다. TOKYO ELECTRON Alpha 8S는 사용자의 특정 요구를 충족하도록 사용자 정의 할 수 있습니다. 옵션은 수동으로, PC 또는 패널 디스플레이를 통해 제공됩니다. Alpha 8S는 Windows 95/98/NT용 TEL Advantage 소프트웨어 형태로 탁월한 프로세스 제어를 제공합니다. 이 강력한 소프트웨어는 용광로 작동 단순화, 프로세스 설정 지원, 데이터 로깅 기능 제공 (영문) 을 통해 프로세스 제어를 단순화할 수 있도록 설계되었습니다. 이 소프트웨어는 또한 통계 분석을 위해 미리 정의된 데이터 세트의 데이터 분석 및 수집을 제공합니다. TEL ALPHA 8 S (TEL ALPHA 8 S) 는 뛰어난 성능, 기술 및 편의성을 조합하여 높은 처리량 및 균일 한 집적 회로를 제작할 수 있습니다. 최대 30cm 크기의 단일 웨이퍼 처리 (single wafer processing) 에 적합한 안정적이고 사용하기 쉬운 시스템입니다.