판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #9257610

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S 확산 퍼니스 (Alpha 8S Diffusion Furnace) 및 그 액세서리는 열 및 전기 프로파일 생성을 위해 반도체 제조 공장에서 사용되어 처리 중인 웨이퍼에 도펀트를 확산 할 수 있습니다. TEL ALPHA-8S는 온도 조절 오븐에 둘러싸인 석영 튜브 외부 선박, 웨이퍼 균일 한 발사를위한 이중 적외선 램프 히터, 웨이퍼 제거 및 적재를위한 수직 리프트 메커니즘 (Vertical Lift Mechanism) 을 갖추고 있습니다. 또한, 확산 로에는 프로세스의 열 매개 변수를 정확하게 제어하기 위해 다양한 센서와 컨트롤 (control) 이 포함되어 있습니다. 도쿄 전자 알파 8 S (TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S) 의 내부 선박은 고순도 석영으로 만들어져 열 충격에 저항하고 처리 중 확산 로가 도달하는 고온을 처리합니다. 이 석영 재료 를 청소 하고 정기적 으로 검사 하여, 구조 상 의 오염 혹은 고장 의 징후 를 확인 한다. 이중 적외선 램프 (Dual Infrared Lamps) 는 와퍼의 균일 한 열 가열을 돕기 위해 정확한 위치와 각도에서 열복사를 지시하도록 정확하게 정렬되고 조정됩니다. 열 매개 변수에 대한 제어는 알파 -8 S (ALPHA-8 S) 에 내장 된 다양한 온도 센서에 의해 추가로 지원됩니다. 이 센서는 항상 웨이퍼의 정확한 온도를 추적하여 공정에 대한 엄격한 제어를 허용합니다. 수직 리프트 메커니즘은 또한 정확하고 효율적인 웨이퍼 로드/언로드 (wafer loading/unloading) 를 허용하여 프로세스에 대한 제어를 추가로 추가합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8S Diffusion Furnace와 함께 제공되는 액세서리에는 도가니 히터, 쿼츠 칩 및 MC Switch 상자가 포함됩니다. 도가니 히터는 가공하는 동안 도펀트 (dopant) 가스를 포함하는 데 사용되는 도가니 (crucible) 를 가열하도록 설계되었습니다. "쿼츠 '" 칩' 은 열전달 을 하고 벽 을 절연 시킴 으로써 약실 전체 의 균일 한 온도 를 유지 하는 데 사용 된다. MC 스위치 박스 (MC Switch Box) 는 확산에 필요한 열 및 전기 프로세스에 대한 정확한 템포 제어를 제공하기 위해 사용됩니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S Diffusion Furnace 및 그 액세서리는 웨이퍼에 대한 도펀트 확산을위한 매우 신뢰할 수 있고 정확한 시스템을 제공합니다. 온도 내성 쿼츠 (temperant-resistant) 부품과 수행원 (attendant) 센서는 이중 적외선 램프와 수직 리프트 메커니즘의 정확한 정렬과 마찬가지로 프로세스를 완벽하게 제어할 수 있습니다. "시스템 '과 함께 공급 되는" 액세서리' 들 은 확산 과정 을 최적화 하는 데 도움 이 되는 또 다른 수준 의 제어 와 효율성 을 제공 한다.