판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #9227417

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S
ID: 9227417
웨이퍼 크기: 8"
VF LPCVD Poly system, 8".
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S는 고급 집적 회로 제작 프로세스를 위해 설계된 확산 로와 액세서리 장치입니다. 이 퍼니스는 8인치 직경의 웨이퍼 (wafer) 에서 다양한 장치 매개변수로 고품질 장치를 생산할 수 있습니다. TEL ALPHA-8S는 고온에서 쿼츠 튜브 (quartz tube) 를 사용하여 이러한 장치를 생산하기에 적합한 비활성 대기를 생성합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S에는 장치의 생산성 및 품질 수준을 최적화하는 몇 가지 중요한 기능이 포함되어 있습니다. 고온 차단 장비 (옵션) 는 웨이퍼 온도가 안전한 제한 내에 유지되도록 하고 과열 가능성을 방지합니다. 또한 자동 웨이퍼 로딩 (automatic wafer loading) 시스템을 사용하면 용광로에 웨이퍼를 효율적으로 로드할 수 있으며, 로드 프로세스 동안 중요한 장치 매개변수를 유지할 수 있습니다. TEL ALPHA-8 S는 강력하고 내구성이 뛰어난 재료로 구성되어 오래 지속되는 유닛 성능을 제공합니다. 견고한 석영 튜브 (quartz tube) 는 최대 1500C의 넓은 온도 범위를 허용하고 열 손실을 크게 줄입니다. 또한, 견고한 알루미늄 합금 히터 코어는 확산 챔버 전체에 균일 한 온도 분포를 보장한다. 이것은 정확한 장치 매개변수의 기초를 제공하며, 효율적이고 정확한 장치 생산이 가능합니다. TEL Alpha 8S에는 광범위한 프로세스 도구 및 모니터링 시스템이 장착되어 있습니다. 퍼니스 제어 머신 (furnace control machine) 을 사용하면 디바이스 구성 프로세스 및 키 디바이스 매개변수의 실시간 모니터링과 긴밀하게 통합할 수 있습니다. 이렇게 하면, 핵심 디바이스의 생산에 최적화된 환경이 만들어지고, 디바이스 매개변수가 최적의 수준 내에 유지되도록 할 수 있습니다. 또한 데이터 로깅 (data logging) 툴을 사용하면 시간이 지남에 따라 디바이스 데이터를 추적할 수 있으므로 디바이스 구성 (device fabrication) 프로세스의 성능에 대한 중요한 통찰력을 얻을 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S는 수년간 안정적이고 일관된 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 이 장치는 프로세스 기능의 유연성을 극대화하고 여러 수준의 자동화 (automation) 를 제공하도록 설계되었습니다. 이를 통해 고급 (advanced) 디바이스의 효율적이고 경제적인 생산과 최고 수준의 제품 품질을 보장할 수 있습니다. TEL은 항상 최적의 성능을 보장하기 위해 24/7 서비스 및 TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S를 지원합니다.
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