판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #9227415

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S는 실리콘 온 인슐레이터 (SOI) 및 실리콘 온 사파이어 (SOS) 기술을위한 확산 용로 및 액세서리입니다. 공정 엔지니어링 (Process Engineering), 제어 시스템 (Control System) 및 최고 안전 표준 (Safety Standard) 의 최신 혁신으로 설계되어 반도체 제조 업계의 웨이퍼 프로세싱에 탁월한 프로세스 유연성을 제공합니다. TEL ALPHA-8S는 플라즈마 에칭 장비, 산화 시스템, 배기 장치, 온도 계측 디스플레이 및 로드 포트를 갖추고 있습니다. 정전기 척 (ESC) 은 웨이퍼 온도를 유지하고 SOI 및 SOS 기술에 중요한 온도 민감성 산화물 에칭 프로세스를 제어하는 데 도움이됩니다. "ESC '의" 하드웨어' 는 뒷면 에 있으며 진공 구슬 은 뒷면 에 있다. 최대 1050 ° C까지 처리 할 수있는 고온로가 있으며, 높은 수준의 안전을위한 난방 반압 도구 (heating chamber counter-pressure tool) 가있는 고급 배기 기계에 포함되어 있습니다. 또한 TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S 는 GUI (Graphical User Interface) 가 포함된 컨트롤러와 원격 위치에서 프로세스를 모니터링할 수 있는 원격 모니터링 자산을 제공합니다. 이 원격 모니터링 모델은 웹 서버 (Web Server) 와 브라우저 인터페이스 (Browser Interface) 를 사용하여 운영자가 쉽게 레시피를 조정할 수 있습니다. 또한 온도 및 압력 측정, 화학 농도, 검사 및 분석을위한 배기 흐름 속도를 기록합니다. 선택적 원자 화 장비를 텔 알파 8S (TEL Alpha 8S) 에 통합하여 부동 입자의 미세 그룹을 만들고 웨이퍼를 가로 질러 입자의 균일 한 분포를 제공 할 수있다. 이 "시스템 '은 또한" 실리콘' 과 이산화규소 와 같은 필름 재료 의 증착 속도 와 무늬 를 수정 하는 데 사용 될 수 있다. 알파 8 S (ALPHA 8 S) 는 강력한 기능 세트 외에도 업계 최고의 안전 표준을 준수하며 깨끗하고 안전한 작업 환경을 보장하며, 유해 화학 물질과 재료의 위험을 제어, 모니터링하는 방식으로 사용합니다. 첨단 프로세스 엔지니어링 및 모니터링 기능을 갖춘 TOKYO ELECTRON ALPHA-8S는 현대 반도체 업계의 SOI 및 SOS 처리에 완벽한 도구입니다.