판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #9226226

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S
ID: 9226226
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1994
LPCVD System, 6" 1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S는 반도체 및 기타 관련 전자 부품 제조에 적합한 확산 로와 관련 액세서리입니다. 이 확산 로에는 쉬운 설치 및 유지 보수를 위해 설계된 8 인치 원형 쿼츠 튜브가 있습니다. 12 인치 웨이퍼 공정이 가능하며, 간단한 제어로 최대 1,000 ° C 확산 온도를 제공합니다. 텔 알파 -8S (TEL ALPHA-8S) 에는 고속 냉각 반응과 함께 효율적이고 균일 한 웨이퍼 가열이 가능한 고급 공랭식 열 교환기가 장착되어 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S는 향상된 웨이퍼 균일성 및 프로세스 예측성을 위해 수소를 공정 가스로 사용합니다. 안전을 위해 확산 로에는 밀봉형 컨테이너, 압력 감소 (pressure reduction) 및 흐름 제어 장비 (flow control) 가 장착되어 안전하고 일관성 있고 높은 순도의 가스 흐름을 보장합니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S에는 수명 및 유지 보수 요구 사항이 낮도록 설계된 작동 구성 요소가 장착되어 있습니다. 전문가 등급 구성 요소에는 프리미엄 확산 튜브 (Premium Diffusion Tube) 및 수리 예비 장치 (Repair Spare) 와 손쉬운 작동 및 설정 변경을 제공하는 고급 제어 모듈 (Advanced Control Module) 이 포함됩니다. 이 기계는 또한 확산 용광로 (diffusion fornace) 와 함께 일할 때 근로자를 잠재적 인 위험으로부터 보호하기위한 오존 모니터링 시스템을 갖추고 있습니다. ALPHA-8 S에는 처리 파이프, 온도 센서, 진공 시스템, 와이어 전기 방전기, 챔버 모니터 및 온도 조정기가 포함 된 종합적인 액세서리 세트가 제공됩니다. 또한 TEL Alpha 8S는 도핑, 어닐링, 산화, 캡슐화 등 작동 범위 내에서 다양한 작업을 수행 할 수 있습니다. 효율적인 작동을 보장하기 위해 TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S (Tokyo ELECTRON ALPHA-8 S) 에는 상세한 PC 소프트웨어 데이터 및 시스템 구성 및 프로세스 데이터를 저장할 수 있도록 설계된 강력한 데스크탑 소프트웨어도 포함되어 있습니다. 또한 이 소프트웨어는 인터넷 액세스를 통해 PC 또는 태블릿 장치의 원격 모니터링을 용이하게 합니다. 전반적으로 TEL ALPHA 8 S 확산 로 및 관련 액세서리는 반도체 및 전자 부품 제조업체를위한 강력한 도구입니다. 안전성 (Safety) 기능 및 고급 액세서리와 결합된 단순하고 효율적인 작동을 통해 Alpha 8S (Alpha 8S) 는 고품질 및 성능을 일관되게 갖춘 고가용성 전자 부품을 만드는 데 적합합니다.
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