판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #9216298
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판매
ID: 9216298
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2004
Vertical furnace, 8"
Process: LPCVD Nitride
Main system:
Main body
Utility box
Includes:
System layout type: U / Box Type (L)
System hand: LL
N2 Load lock
Heater type: WMM-40-101 Mid temperature
Torch heater
SMIF: TEL Integrated SMIF
Process gases:
N2 (20SLM)
N2 (5SLM)
N2 (1SLM)
NH3 (2SLM)
DCS (200SCCM)
O2 (2SLM)
Gas distribution system:
Basic style: Conventional gas system
Tubing material: Stainless steel
Tubing finish: Electro-polished
Manual valve: FUJIKIN
Air-operated valve: FUJIKIN
MFC: AERA
Wafer / Cassette handling:
Wafer type: 8" SEMI STD-Notch
Cassette type: Entergris / XT200-01E
Cassette number of wafers: 25
(16) Cassettes storage
Fork type / Material: 1+4
Fork variable pitch: Variable
Boat / Pedestal:
(150) Production wafers
Boat rotation installed
System controls:
System controller: TS-4000Z
Signal tower colors: G/R/A
General pressure display units: Pressure Mpa
Cabinet exhaust display units: Kpa
Furnace temperature controller: M121
Host communications:
Host communications: User host computer
User host computer I/F: SECS I/II (RS232)
Information transfer protocol: GEM
Equipment host I/F connection: U/BOX Top
Group controller: HIA
Power:
Voltage 3 Phase: 208 VAC
Voltage 1 Phase: 120 VAC
UPS Input voltage / Output voltage: 230 V / 230 V
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S는 반도체 및 기타 장치 제조에 적합한 산업용 확산 로와 액세서리 패키지입니다. TEL ALPHA-8S는 반도체 제작에서 탁월한 제어, 정확성 및 재생성을 제공하는 획기적인 기술인 쿼츠 카세트 선형 전송 시스템 (QCLT) 플랫폼을 기반으로합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S는 고성능 어닐링, 드라이브 인 및 기타 확산 프로세스를 제공하기 위해 고급 8 단계 공정 챔버를 갖추고 있습니다. 각 단계에서 프로그래밍 가능한 온도 제어를 통해, TOKYO ELECTRON ALPHA 8S는 재료를 빠르게 가열하고 냉각시켜 단단한 프로세스 매개 변수와 균일 한 장치 특성을 가진 완벽하게 일관된 미세 구조를 형성 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-8S (TOKYO ELECTRON ALPHA-8S) 는 열 소스를 조절할 수 있는 기능과 설치 공간이 작아 잠재적 프로세스 구성에서 완벽한 유연성을 제공합니다. 이 패키지에는 방사선의 통일성을 극대화하는 통합 반사경 시스템 (Integrated Reflector System) 이 포함되어 있어 온도 공정에 대한 고정밀 제어가 가능합니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S에는 안전하고 중단되지 않은 확산 과정을 보장하기 위해 여러 차폐 및 진공 시스템이 포함되어 있습니다. 그 "패키지 '에는" 셉툼 밸브' 와 "가스 '선택" 캐비닛' 이 들어 있어 공정 중 에 여러 가지 "가스 '를 신속 하고 부드럽게 전환 할 수 있다. TEL 알파 8S (Alpha 8S) 는 또한 챔버의 무결성을 모니터링하고 가스 누출을 신속하게 식별하는 자동 누수 검사 시스템을 갖추고 있습니다. 안전성 측면에서 TEL ALPHA 8 S는 다양한 센서와 모니터를 사용하여 잠재적 인 프로세스 위험을 감지합니다. 이 패키지에는 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S로 정확하고 안전하며 재생산 가능한 확산 프로세스를 보장하기 위해 정확한 온도 측정을위한 적외선 및 기존 피로미터가 모두 포함되어 있습니다. 뛰어난 자동 확산 기능 외에도, TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S (대부분의 액세서리 제공) 가 제공됩니다. 이 패키지에는 공압 로딩 시스템, 열전대 회로, 감지 및 제어 시스템, 몇 가지 추가 센서, 모니터 (옵션) 등이 포함됩니다. 전체적으로, ALPHA-8 S 확산 로 및 액세서리 패키지는 정확하고 일관된 확산 프로세스에 적합한 솔루션입니다. 신뢰성 있고, 안전하며, 완벽한 컨트롤과 액세서리 (accessory) 를 갖춘 이 패키지는 다음 확산 프로세스가 성공적임을 보장합니다.
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