판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #9054816

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S는 반도체 장치 제조에 사용되는 확산 로와 액세서리 패키지입니다. 다목적 장비로, 대량 및 디바이스 수준 프로세스에 모두 사용할 수 있습니다. TEL ALPHA-8S는 최대 1,250 ° C의 프로세스 온도를 최대화 할 수있는 수직 형 확산 로입니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S에는 전용 카세트를 설치하여 수직으로 확장 할 수있는 단일 챔버 로가 있습니다. 필요 하다면 "카세트 '를 방 에서 완전 히 제거 할 수 도 있다. 이러한 유연성을 통해 카세트 (Cassette) 를 수정하지 않고도 여러 프로세스 매개변수를 챔버에 적용할 수 있습니다. 카세트는 처리 단계에서 Wafer Cassettes를 수용하도록 설계되었습니다. ALPHA 8 S는 방사선 히터 제어 기술을 사용하여 챔버 내에서 균일 한 온도를 보장합니다. 이 기능은 증착 및 식각 과정에서 전기 구조와 필름 구조의 우수한 균일성 (unifority) 을 생산하도록 보장합니다. 이러한 고온 공정 결과는 Shear Force Analysis 및 Pyrometer Analysis 기술과 같은 고급 분석 기술로 백업됩니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S에는 완전 자동화 된 가스 흐름 제어 시스템도 있습니다. 이 장치 는 용광로 "가스 '의 온도 를 조절 하여 뛰어난" 가스' 흐름 조절 을 하도록 설계 되었다. 자동화된 가스 흐름 제어 (gas flow control) 기능은 또한 공정 실패와 관련된 주변 공기의 오염을 최소화합니다. 이러한 기능 외에도, TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S에는 많은 수의 액세서리가 제공되어 기계의 효율적인 작동을 용이하게합니다. 여기에는 공정 가스 공급, 자동 캐리어 및 카세트 언로드 도구, 캐리어 베이킹 시스템 및 컴퓨터 제어 자산이 포함됩니다. 컴퓨터 제어 모델 (computer control model) 은 실시간 프로세스 모니터링을 통해 운영자가 필요에 따라 조정할 수 있습니다. 알파 8S (Alpha 8S) 확산 용광로 및 액세서리 패키지는 고품질 반도체 장치를 안정적이고 효율적으로 생산할 수 있도록 설계된 뛰어난 품질의 장비입니다. 고급 헤더, 가스 및 컴퓨터 제어 기능을 결합한 TEL Alpha 8S는 모든 웨이퍼 제작 프로세스에 이상적인 선택입니다.