판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293822718
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ID: 293822718
웨이퍼 크기: 8"
Vertical Diffusion Furnace, 8"
HDD
Software
Temperature: 1050°C
No Quartzware
Densification
Wafer Transfer Robot
Standard Mechanical Interface (SMIF)
Process: Gate Oxidation.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S는 효율성과 생산성을 높이기 위해 설계된 다양한 액세서리를 갖춘 고급 확산 로입니다. TEL ALPHA-8S는 최신 고온 산화 (HTO) 기술을 사용하여 여러 샘플을 동시에 빠르게 열 처리 할 수 있습니다. 튼튼 한 구조 와 특수 성분 을 사용 하여, 넓은 공정 온도 범위 를 정밀 히 제어 할 수 있게 되므로, 이 기구 는 확산, 산화, 질화 등 여러 가지 응용 프로그램 에 적합 하다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S의 고유 한 프로세스 디자인은 균일 한 가열을 보장하며, 다음 기능을 통해 향상된 성능을 보장합니다. 대기 가스 잠금 해제 메커니즘을 사용하여 최대 5 x 10-1 Torr의 진공을 달성 할 수 있습니다. 그것은 매우 정밀한 이중 온도 및 압력 출력 제어 장비를 특징으로하며, 이는 균일 한 열 처리를 가능하게합니다. 저입자 환경은 효과적인 필터 교환 시스템 (filter exchange system) 과 챔버 대피 장치 (chamber evacuation unit) 의 조합을 통해 달성됩니다. 또한, 시그니처 디자인은 확산 과정에서 주변 공기 (ambient air) 의 영향을 제거하여 처리 시간이 효율적이고 결과가 개선됩니다. TEL Alpha 8S에는 사용자 경험을 극대화하기 위해 향상된 액세서리도 포함되어 있습니다. 자동 가스 패스스루 머신 (Automatic gas passthrough machine) 을 사용하면 챔버 도어를 열지 않고도 여러 가스에 신속하고 안정적으로 액세스할 수 있으며, 자동 피드백 신호 도구 (automatic feedback signaling tool) 는 프로세스 불규칙성을 신속하게 알립니다. 부식 내성 실리콘 카바이드 중첩 메커니즘은 마모와 눈물을 방지하여 최고 성능을 보장합니다. 전면 웨이퍼 전송 액세서리는 간편한 액세스 및 확장 사용을 지원합니다. 전반적으로, ALPHA 8 S 확산 로와 액세서리는 열 처리를 매우 정확하고 균일 하게 제어합니다. 사용자 친화적 인 디자인, 견고한 구성, 고급 자동화 기능 및 향상된 액세서리를 통해 TOKYO ELECTRON ALPHA-8S는 뛰어난 결과를 달성하기 위한 최상위 선택입니다.
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